多室竖炉式中频炉.pdf
英瑞****写意
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多室竖炉式中频炉.pdf
本发明公开了一种多室竖炉式中频炉,包括一级感应炉和二级感应炉,一级感应炉包括第一竖炉部、第一中频炉部、第一感应加热线圈、第一出钢管加热线圈和第一出钢管,第一竖炉部为第一中频炉部开口端延伸部,第一感应加热线圈螺旋固定于第一中频炉部外侧,第一出钢管固定于第一中频炉部下端,第一出钢管加热线圈螺旋固定于第一出钢管外侧,第二竖炉部下端固定于第二中频炉部上端,第二感应加热线圈和第二出钢管加热线圈为中空铜管,第二感应加热线圈固定于第二中频炉部外侧,第二出钢管加热线圈螺旋固定于第二出钢管外侧,第一出钢管位于第二竖炉部上方
装卸式中频炉.pdf
本发明涉及一种装卸式中频炉,碳化硅炉外壁内设有炉内壁,二者夹层间充满炭粉,炉内壁上端面和下端面分别设有炉内壁上盖和炉内壁底板,炉外壁下端面卡扣连接有炉外壁底板,炉外壁侧壁对应设有中频感应线圈,中频感应线圈通过中频线圈固定架固定,炉内壁上盖贯穿设有排气管和测温结构。本发明材料价格低廉,保温性能好,不易损坏,可长期在3000‑3200℃工作,坩埚使用周期长,产品质量稳定,因此该设备加热速度快,生产效率高;可实现大型化、自动化、流水化生产。
竖式大容量高效中频炉及其生产方法.pdf
本发明涉及竖式钒氮合金加热炉,尤其涉及竖式大容量高效中频炉及其生产方法。全自动进出料方式,一次性生产产量高,在炉体内一次完成金属还原和渗氮工序;炉料成熟以后,随炉冷却至650℃左右即可将坩埚从中频炉中撤出,进入冷却室进行二次冷却,第二个坩埚可以马上进入炉体进行生产,生产高效,节约能源。增设双闸门的进料和出料装置,不影响炉内气氛的情况下,实现物料自动进出化;设计快速冷却并相对独立的炉体冷却段,使反应后物料能迅速冷却,进而降低生产周期。
用于竖式炉的衬里和凸缘的组件及衬里和竖式炉.pdf
提供了一种用于处理衬底的竖式炉的衬里和凸缘的组件。衬里构造成在竖式炉的处理管的内部中延伸,且凸缘构造成至少部分地封闭衬里开口。衬里包括基本上圆柱形壁,其由下端处的衬里开口和较高端处的顶部封闭件界定,并且对于衬里开口上方的气体基本上封闭,并且限定内部空间。凸缘包括:入口开口,其构造成插入和移除构造成在衬里的内部空间中承载衬底的舟皿;向内部空间提供气体的气体入口。组件构造并且布置成具有气体排放开口以从内部空间以及衬里与低压管之间的空间移除气体。
多室蓄热式氧化炉.pdf
本发明公开一种多室蓄热式氧化炉,包括氧化炉本体、进气管道、排气管道、气体分配装置、分割装置、助燃装置、旋转装置,分割装置位于氧化炉本体内部,将氧化炉本体内分成反应室和气体分配室,并通过多块分割板将气体分配室分割成多个相互独立的扇形分割腔;气体分配装置为内外双层筒状结构,并具有一个进气区域A、一个出气区域B和至少两个助燃空气区域C,且通过助燃空气区域C进气区域A和出气区域B间隔开来;旋转装置带动分割装置共同旋转,且出气区域B的体积大于进气区域A的体积。通过该装置,能降低整个设备的压损,保证设备的连续运行,提