用于竖式炉的衬里和凸缘的组件及衬里和竖式炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110945639A(43)申请公布日2020.03.31(21)申请号201880048529.7(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所(22)申请日2018.07.2511105代理人焦玉恒(30)优先权数据15/660,8052017.07.26US(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2020.01.20(86)PCT国际申请的申请数据PCT/IB2018/0010222018.07.25(87)PCT国际申请的公布数据WO2019/021063EN2019.01.31(71)申请人ASMIP私人控股有限公司地址荷兰阿尔梅勒(72)发明人L.杰迪拉C.德里德尔T.奥斯特拉肯K.P.伯昂斯特拉权利要求书2页说明书10页附图7页(54)发明名称用于竖式炉的衬里和凸缘的组件及衬里和竖式炉(57)摘要提供了一种用于处理衬底的竖式炉的衬里和凸缘的组件。衬里构造成在竖式炉的处理管的内部中延伸，且凸缘构造成至少部分地封闭衬里开口。衬里包括基本上圆柱形壁，其由下端处的衬里开口和较高端处的顶部封闭件界定，并且对于衬里开口上方的气体基本上封闭，并且限定内部空间。凸缘包括：入口开口，其构造成插入和移除构造成在衬里的内部空间中承载衬底的舟皿；向内部空间提供气体的气体入口。组件构造并且布置成具有气体排放开口以从内部空间以及衬里与低压管之间的空间移除气体。CN110945639ACN110945639A权利要求书1/2页1.一种衬里和凸缘的组件，所述衬里构造成在竖式炉的低压管的内部中延伸，所述衬里包括：基本上圆柱形壁，所述基本上圆柱形壁由下端处的衬里开口和较高端处的顶部封闭件界定，并且对于所述衬里开口上方的气体基本上封闭并且限定内部空间，所述凸缘构造成至少部分地封闭所述管的开口，并且包括：入口开口，所述入口开口构造成插入并且移除构造成在所述衬里的内部空间中承载衬底的舟皿；和气体入口，所述气体入口向所述内部空间提供气体，其中所述组件构造并且布置成具有气体排放开口，以从所述内部空间以及所述衬里与所述低压管之间的空间移除气体。2.根据权利要求1所述的组件，其中所述气体入口包括喷射器，所述喷射器构造并且布置在所述组件内，以沿所述衬里的基本上圆柱形壁朝所述较高端延伸到所述内部空间中，并且包括至少一个开口以在所述内部空间中喷射气体。3.根据权利要求2所述的组件，其中在竖直方向上延伸的开口图案沿着所述喷射器设置。4.根据权利要求2所述的组件，其中所述喷射器内部的气体传导通道的水平内部横截面面积在100和1500mm2之间。5.根据权利要求2所述的组件，其中所述喷射器内部的气体传导通道的水平内部横截面具有一个形状，所述形状在与基本上圆柱形衬里的圆周相切的方向上的尺寸大于在径向方向上的尺寸。6.根据权利要求2所述的组件，其中所述至少一个开口的面积能够在1到200mm2之间。7.根据权利要求3所述的组件，其中所述开口之间的垂直距离在从所述喷射器的下端到顶端时减小。8.根据权利要求3所述的组件，其中所述开口构造成使得在至少两个不同方向上喷射气体。9.根据权利要求2所述的组件，其中所述至少一个开口从内到外具有凹形形状。10.根据权利要求2所述的组件，其中所述开口定位在所述喷射器的两个垂直延伸的、间隔开的分支上。11.根据权利要求2所述的组件，其中所述喷射器包括靠近所述衬里的顶端的一个开口。12.根据权利要求1所述的组件，其中界定所述内部空间的所述衬里具有沿径向向外延伸的凸起。13.根据权利要求1所述的组件，其中用于从所述内部空间移除气体的所述气体排放开口设置在所述衬里的开口端下方。14.根据权利要求1所述的组件，其中所述组件设有安装在所述凸缘上的吹扫气体入口，以用于向所述衬里与所述管之间的空间提供吹扫气体。15.根据权利要求14所述的组件，其中所述吹扫气体入口包括沿着所述衬里的基本上圆柱形壁的外表面朝向所述衬里的顶端延伸的吹扫气体喷射器。16.根据权利要求1所述的组件，其中所述组件设有温度测量系统，所述温度测量系统安装在所述凸缘上，并且沿着所述衬里的基本上圆柱形壁朝向所述衬里的顶端延伸以测量2CN110945639A权利要求书2/2页温度。17.根据权利要求16所述的组件，其中所述温度测量系统沿着所述衬里的外表面布置。18.根据权利要求17所述的组件，其中所述衬里设有沿径向向内延伸的凸起以适应所述温度测量系统。19.根据权利要求1所述的组件，其中所述衬里和所述气体喷射器中的至少一个包括选自碳化硅和硅的材料。20.根据权利要求1所述的组件，其中所述组件构造并且布置成使得在所述衬里的下表面与所述凸缘的上表面之间存在间隙。21.根据权利要求1