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一种原子层沉积制备薄膜材料的装置和方法.pdf
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一种原子层沉积制备薄膜材料的装置和方法.pdf
本发明公开了一种原子层沉积制备薄膜材料的装置和方法，通过腔室；第一管路，所述第一管路与所述腔室的一端连通，且所述第一管路通入第一前驱体进入所述腔室；第二管路，所述第二管路与所述腔室的一端连通，且所述第二管路通入第二前驱体进入所述腔室；马弗炉，所述马弗炉设置在所述腔室的外侧，且所述马弗炉采用分段加热所述腔室，其中，所述马弗炉第一段加热衬底至第一温度，在所述第一温度下向所述腔室通入所述第一前驱体与所述第二前驱体，所述马弗炉第二段加热至第二温度；抽真空管路，所述抽真空管路的一端与所述腔室的另一端连通。达到提高前
2023-06-15
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2024-01-10
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2024-01-10
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2024-01-09
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2023-06-15
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