气相沉积炉及填料密封结构的安装方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113025993A(43)申请公布日2021.06.25(21)申请号202110208440.6(22)申请日2021.02.24(71)申请人森松（江苏）重工有限公司地址226532江苏省南通市如皋市长江镇（如皋港区）森松路1号(72)发明人康治政詹林王滋川匡良明(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277代理人刘新宇张会华(51)Int.Cl.C23C16/44(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称气相沉积炉及填料密封结构的安装方法(57)摘要本申请提出了一种气相沉积炉及填料密封结构的安装方法。该气相沉积炉包括炉管、下管板和填料密封结构。所述炉管穿过所述下管板，所述炉管和所述下管板通过所述填料密封结构形成密封。所述填料密封结构包括填料、管座、压盖和支耳结构。所述管座固定连接于所述下管板，所述支耳结构包括螺母、连接板和螺杆，所述连接板固定连接于所述压盖，所述螺杆能够穿过所述连接板，所述螺杆的一端固定连接于所述下管板，所述螺杆和所述螺母通过螺纹配合连接，通过所述螺母能够限制所述连接板在所述螺杆的轴向上的位置。CN113025993ACN113025993A权利要求书1/1页1.一种气相沉积炉，其特征在于，所述气相沉积炉包括炉管(1)、下管板(2)和填料密封结构，所述炉管(1)穿过所述下管板(2)，所述炉管(1)和所述下管板(2)通过所述填料密封结构形成密封，所述填料密封结构包括填料(4)、管座(52)、压盖(62)和支耳结构(7)，所述管座(52)固定连接于所述下管板(2)，所述支耳结构(7)包括螺母(71)、连接板(72)和螺杆(73)，所述连接板(72)固定连接于所述压盖(62)，所述螺杆(73)能够穿过所述连接板(72)，所述螺杆(73)的一端固定连接于所述下管板(2)，所述螺杆(73)和所述螺母(71)通过螺纹配合连接，通过所述螺母(71)能够限制所述连接板(72)在所述螺杆(73)的轴向(A)上的位置。2.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述螺杆(73)焊接于所述下管板(2)。3.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述连接板(72)焊接于所述压盖(62)。4.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述压盖(62)至少部分地插入所述管座(52)，所述压盖(62)与所述管座(52)间隙配合。5.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述填料密封结构包括多组所述支耳结构(7)，通过调节多个所述螺母(71)在其对应螺杆(73)上的位置而调节所述压盖(62)在所述轴向(A)上的位置。6.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述压盖(62)和所述管座(52)同轴设置。7.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于，所述连接板(72)具有孔，所述孔的直径大于所述螺杆(73)的直径，使得所述螺杆(73)能够相对于所述连接板(72)位移和倾斜。8.一种填料密封结构的安装方法，其特征在于，所述填料密封结构为权利要求1至7中任一项所述的气相沉积炉的填料密封结构，气相沉积炉的炉管(1)和下管板(2)通过所述填料密封结构形成密封，所述填料密封结构的安装方法包括：所述压盖(62)预装入所述管座(52)，所述螺杆(73)穿过所述连接板(72)并放置于所述压盖(62)旁边，以确定所述螺杆(73)的固定位置；所述螺杆(73)固定连接于所述气相沉积炉的下管板(2)；所述连接板(72)固定连接于所述压盖(62)；以及所述螺母(71)和所述螺杆(73)旋合，通过改变所述螺母(71)的位置调整所述压盖(62)在所述轴向(A)上的位置。9.根据权利要求8所述的填料密封结构的安装方法，其特征在于，所述填料密封结构包括多组所述支耳结构(7)，通过调整多组所述支耳结构(7)中的部分所述支耳结构(7)的所述螺母(71)在所述螺杆(73)上的位置，从而调整所述压盖(62)的位置及姿势。2CN113025993A说明书1/4页气相沉积炉及填料密封结构的安装方法技术领域[0001]本申请涉及气相沉积炉，尤其涉及一种具有填料密封结构的气相沉积炉及填料密封结构的安装方法。背景技术[0002]气相沉积炉作为绿色高效制备催化剂的成套工艺技术装置，气相沉积炉中发生的沉积过程要求每根炉管进料的均一性，以及炉管内温度分布均匀。同时，沉积过程中反应产生的氯化氢离开高温区时，有一定可能会和空气中的水蒸汽冷凝为盐酸造成腐蚀。因此，要求炉管与管板之间的密封可靠，防止氯化氢外泄。[0003]一个现有技术中，气相沉积炉包括加热仓、加热仓上部的上管板、加热仓下部的下管板，以及穿过下管板、加热仓、上管板的90根直径为159mm的