用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113020165A(43)申请公布日2021.06.25(21)申请号202110284872.5(22)申请日2021.03.17(71)申请人呼和浩特市洪润环祥科技有限公司地址010070内蒙古自治区呼和浩特市金桥开发区阿木尔南街中晶研究院办公楼一层(72)发明人刘永龙杜学敏常永强张治国(74)专利代理机构深圳市兴科达知识产权代理有限公司44260代理人覃曼萍(51)Int.Cl.B08B9/087(2006.01)B08B15/04(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图3页(54)发明名称用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置(57)摘要本发明公开了一种用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置，其用于清理石墨加热器，包括底座、环形旋转件、内壁清理机构、外壁清理机构和吸尘机构，环形旋转件设置于所述底座上，其上设置有用于固定石墨加热器的固定部，其接受驱动以自转；内壁清理机构包括多个竖向布置的第一条状清理构造，其固定于所述环形旋转件的内侧；外壁清理机构包括多个竖向布置的第二条状清理构造，其固定于所述环形旋转件的外侧；吸尘机构的抽吸口位于所述内壁清理机构和外壁清理机构之间。本发明提供的用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置，通过内壁清理机构和外壁清理机构实现对石墨加热器自动清理，不需要操作人员手工清理，提升清理效率。CN113020165ACN113020165A权利要求书1/1页1.一种用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置，其用于清理石墨加热器，其特征在于，包括：底座；环形旋转件，其设置于所述底座上，其上设置有用于固定石墨加热器的固定部，其接受驱动以自转；内壁清理机构，其包括多个竖向布置的第一条状清理构造，其固定于所述环形旋转件的内侧；外壁清理机构，其包括多个竖向布置的第二条状清理构造，其固定于所述环形旋转件的外侧；吸尘机构，其抽吸口位于所述内壁清理机构和外壁清理机构之间。2.根据权利要求1所述的高效清理装置，其特征在于，所述底座上设置有筒体，所述筒体的内侧形成容纳腔，所述外壁清理机构位于所述容纳腔内。3.根据权利要求1所述的高效清理装置，其特征在于，所述内壁清理机构上设置有第一条形槽，所述第一条状清理构造通过第一弹簧嵌于所述第一条形槽中。4.根据权利要求1所述的高效清理装置，其特征在于，所述外壁清理机构上设置有第二条形槽，所述第二条状清理构造通过第二弹簧嵌于所述第二条形槽中。5.根据权利要求2所述的高效清理装置，其特征在于，所述容纳腔开口处设置有密封盖板，还包括朝向所述第一条状清理构造和第二条状清理构造的吹风通道。6.根据权利要求1所述的高效清理装置，其特征在于，所述固定部为设置于所述环形旋转件上的环形卡槽。7.根据权利要求3所述的高效清理装置，其特征在于，所述内壁清理机构包括多个竖直布置的固定条，多个所述固定条的顶部通过连接件相连，所述固定条上设置有所述第一条形槽。8.根据权利要求1所述的高效清理装置，其特征在于，还包括驱动机构，所述驱动机构包括转盘，所述环形旋转件同轴布置于所述转盘上以实现自转。9.根据权利要求8所述的高效清理装置，其特征在于，所述环形旋转件连接于所述转盘的边缘部分，所述转盘活动套接于所述吸尘机构的排气管道上。2CN113020165A说明书1/7页用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置技术领域[0001]本发明涉及单晶炉技术领域，具体涉及一种用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置。背景技术[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶炉热场是单晶炉中必备部件，加热、保温、热屏、防漏(硅)等均是通过热场来实现的。单晶炉热场在运行一炉完成后，需要对其进行拆炉清理，石墨加热器是单晶炉热场结构中必不可少的组件，拆炉清理时需要清除附着在石墨加热器上的碳化硅、硅蒸汽等杂质。[0003]如公开号为CN203696695U，名称为《一种单晶炉热场清理工作台》，公开日为2014年7月9日的实用新型专利申请，包括支撑底座、位于支撑底座上部的台面、罩于台面上的壳体状封闭室；台面面板上均匀分布着开孔；开孔与抽吸系统连接；台面上中心部位设有旋转托盘。本实用新型使用时，首先打开工作台门，将待清理的石墨件放置于旋转托盘之上，开启工作台抽气真空泵，操作人员坐于工作台之前，打磨待清理石墨件，手动转动旋转托盘，对石墨件进行全方位清理；打磨过程中产生的粉尘杂质等随着抽气气流通过篦子和抽气管路排走；当石墨件清理完毕之后，开启旋转托盘电机，打开压缩空气喷嘴，一边进行吹扫，一边进行排气，自动完成石墨件上粉尘清理的工作。[0004]又如公开号为CN209910416U，名称为《一种锗单晶炉热场清理工作台》，公开日为202