用于直拉硅单晶炉热场拆清辅助机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112658659A(43)申请公布日2021.04.16(21)申请号202011395051.0(22)申请日2020.12.03(71)申请人曲靖晶龙电子材料有限公司地址655000云南省保山市曲靖经济技术开发区光伏一号路以东、南海大道以南(72)发明人宋克冉杨西虎孙须良(74)专利代理机构上海华诚知识产权代理有限公司31300代理人徐颖聪(51)Int.Cl.B23P19/04(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图8页(54)发明名称用于直拉硅单晶炉热场拆清辅助机(57)摘要本发明提供用于直拉硅单晶炉热场拆清辅助机，该辅助机包括支撑架、第一驱动组件、支撑立柱、夹取组件和托盘组件，若干支撑立柱固定安装于支撑架上，在第一驱动组件的驱动力下，可伸缩的支撑立柱在竖直方向上进行升降运动；夹取组件可旋转固定于支撑立柱上，若干托盘组件可旋转安装于支撑立柱上；夹取组件将单晶炉内的器件夹取并放置于托盘组件上；该辅助机用于将处于高温状态时的单晶炉进行拆卸，节省了冷却需要的时间，且避免造成人员烫伤的问题出现；可旋转的夹取组件与托盘组件在进行拆卸单晶炉的过程中，占地面积较小，降低了对周围环境造成的污染程度，保证了车间的清洁度，提高单晶炉的拆卸效率，降低车间安全风险隐患。CN112658659ACN112658659A权利要求书1/2页1.一种用于直拉硅单晶炉热场拆清辅助机，其特征在于，包括：支撑架；第一驱动组件，所述第一驱动组件固定安装于所述支撑架上；支撑立柱，若干所述支撑立柱固定安装于所述支撑架上，在所述第一驱动组件的驱动力下，可伸缩的所述支撑立柱在竖直方向上进行升降运动；夹取组件，所述夹取组件可旋转固定于所述支撑立柱上；托盘组件，若干所述托盘组件可旋转安装于所述支撑立柱上；所述夹取组件将单晶炉内的器件夹取并放置于所述托盘组件上。2.如权利要求1所述的用于直拉硅单晶炉热场拆清辅助机，其特征在于，所述支撑架包括支撑底座与支撑顶座，所述支撑立柱的两端分别与所述支撑底座和所述支撑顶座固定连接；所述第一驱动组件固定安装于所述支撑顶座上。3.如权利要求1所述的用于直拉硅单晶炉热场拆清辅助机，其特征在于，若干所述支撑立柱至少包括第一支撑立柱、第二支撑立柱和第三支撑立柱，所述第一支撑立柱、第二支撑立柱和第三支撑立柱平行设置；所述夹取组件安装于所述第一支撑立柱上，若干所述托盘组件安装于所述第二支撑立柱与第三支撑立柱上。4.如权利要求3所述的用于直拉硅单晶炉热场拆清辅助机，其特征在于，所述第一支撑立柱、第二支撑立柱和第三支撑立柱形成可容置所述夹取组件与托盘组件的空间；所述第一支撑立柱、第二支撑立柱和第三支撑立柱形成等腰三角形结构。5.如权利要求3所述的用于直拉硅单晶炉热场拆清辅助机，其特征在于，所述支撑底座上安装有若干万向轮与驻车器。6.如权利要求3所述的用于直拉硅单晶炉热场拆清辅助机，其特征在于，所述夹取组件包括：第二驱动组件；旋转部，所述第二驱动组件固定安装于所述旋转部上，所述旋转部套装于所述支撑立柱上；夹取臂，所述夹取臂安装于所述第二驱动组件上，所述夹取臂在所述第二驱动组件的驱动力下夹取或放下器件；定心柱，若干所述定心柱固定安装于所述夹取臂上。7.如权利要求6所述的用于直拉硅单晶炉热场拆清辅助机，其特征在于，所述夹取组件还包括抱夹，所述抱夹连接所述第二驱动组件，所述抱夹活动安装于所述夹取臂上；所述抱夹在所述第二驱动组件的驱动力下夹取或放下器件。8.如权利要求6所述的用于直拉硅单晶炉热场拆清辅助机，其特征在于，所述夹取臂延伸有若干夹爪，所述夹爪位于所述夹取臂的下方，所述夹爪与夹取臂之间的距离匹配待夹取器件的厚度。9.如权利要求6所述的用于直拉硅单晶炉热场拆清辅助机，其特征在于，所述第二支撑立柱与第三支撑立柱上固定安装有扶手；所述夹取组件还包括控制器，所述控制器固定安装于所述第二支撑立柱或第三支撑立柱上的所述扶手处，以控制所述第二驱动组件。10.如权利要求2所述的用于直拉硅单晶炉热场拆清辅助机，其特征在于，还包括电动拖车，所述电动拖车与所述支撑架相互独立，所述电动拖车包括第三驱动组件与承载部，所2CN112658659A权利要求书2/2页述承载部可移动至所述支撑底座的下方，所述承载部用于装载单晶炉内的器件；所述承载部在所述第三驱动组件的驱动力下将单晶炉内的器件移送至指定位置。3CN112658659A说明书1/5页用于直拉硅单晶炉热场拆清辅助机技术领域[0001]本发明涉及一种单晶炉热场拆卸领域，尤其涉及用于直拉硅单晶炉热场拆清辅助机。背景技术[0002]目前在直拉单晶炉生产过程中最后一步是拆炉，拆炉一般都是等炉内冷切后，采用手动拆除的方式进行层层剥离，拆卸下的热场器件用