一种带上料器真空气相沉积炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113124683A(43)申请公布日2021.07.16(21)申请号202010044041.6F27D19/00(2006.01)(22)申请日2020.01.15C23C16/44(2006.01)(71)申请人株洲弗拉德科技有限公司地址412000湖南省株洲市天元区黄河南路天台科技园科瑞路12号(72)发明人言伟雄(74)专利代理机构广州粤高专利商标代理有限公司44102代理人杨千寻冯振宁(51)Int.Cl.F27B17/00(2006.01)F27D3/00(2006.01)F27D7/06(2006.01)F27D9/00(2006.01)F27D11/10(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称一种带上料器真空气相沉积炉(57)摘要本发明提出了一种带上料器真空气相沉积炉，所述真空气相沉积炉包括加热炉体、炉体内设有螺旋式上料器，炉身还设有上电极和下电极。所述上电极和下电极分别与射频电源的两个输出电极相连或/和直流电源的两个输出电极相连。各部分受控的气压、气氛、电场、磁场、加热方式组合使用实现对粉体材料的真空气相沉积工艺。具有效率高，反应快速的优点。CN113124683ACN113124683A权利要求书1/1页1.一种带上料器真空气相沉积炉，其特征在于，包括炉身（1）和炉盖(2)；所述炉身（1）为一容器，炉身内设有上料器（8）；炉身（1）设有加热元件（1010）和保温层；所述炉盖（2）设置在炉身（1）上方，炉盖内侧设有保温层；炉盖（2）上至少设有一个真空管道（3），真空管道（3）底部设有进气口，所述进气口伸入炉身内，真空管道（3）连接抽真空装置（305）；所述炉身内设有上电极（5）和下电极（20），所述上电极（5）包括底部的上电极板（501），上电极板（501）上设有至少一个布气孔，所述布气孔连接进气管（502）和进气接头（503），工作气体通过进气接头（503）、进气管（502）、上电极板（501）上的布气孔进入炉身内；所述下电极（20）布置在上电极板（501）与上料器（8）之间；所述下电极包括下电极板（2001）和连杆（2002），所述连杆连接炉身外的震动装置（21），所述下电极板（2001）上设有布料孔；所述上电极（5）和下电极（20）分别与射频电源（14）的两个输出电极相连或/和直流电源（15）的两个输出电极相连。2.根据权利要求1所述的一种带上料器真空气相沉积炉，其特征在于，所述上料器（8）为螺旋循环上料器。3.根据权利要求2所述的一种带上料器真空气相沉积炉，其特征在于，所述螺旋循环上料器（8）包括套管（801）、螺带转轴（802）、上固定支架（803）、下固定支架（805）、倒流套（804）；固定支架将套管（801）固定在炉身中心位置，导流套（804）设置在套管（801）顶部并靠近下电极板（2001）的底面位置；螺带转轴（802）设在套管（801）内，底部通过密封件与炉身（1）外部的旋转驱动装置（806）连接。4.根据权利要求1所述的一种带上料器真空气相沉积炉，其特征在于，所述下电极还包括套管（2004）、端板（2005），所述连杆（2002）通过端板（2005）与震动装置（21）连接，下电极板（2001）在震动装置（21）的驱动下震动。5.根据权利要求4所述的一种带上料器真空气相沉积炉，其特征在于，下电极板（2001）上端面为圆锥面、球面、平面、圆弧面或它们之间的任意组合。6.根据权利要求1所述的一种带上料器真空气相沉积炉，其特征在于，所述炉身外部设有支撑架（10）；炉体上还布置有称重传感器（9），所述称重传感器（9）布置于加热炉体炉身（1）与其炉体支撑架（10）之间，或布置于地面上对加热炉体和炉体支撑架（10）予以支撑。7.根据权利要求1所述的一种带上料器真空气相沉积炉，其特征在于，炉盖（2）上至少设有一个法兰窗口（201），每个法兰窗口（201）上设有带通孔的绝缘盖板（11），上电极（5）穿过绝缘盖板（11）的通孔，并固定在绝缘盖板（11）上。8.根据权利要求7所述的一种带上料器真空气相沉积炉，其特征在于，上电极(5）的数量大于或等于法兰窗口的数量，即可多个上电极（5）共用一个法兰窗口（201）。9.根据权利要求1所述的一种带上料器真空气相沉积炉，其特征在于，所述进气接头（503）上连接干路气体流量计（504），所述干路气体流量计（504）进气端设有至少两个支路气体流量计。10.根据权利要求1所述的一种带上料器真空气相沉积炉，其特征在于，所述真空管道（3）内设有粉尘过滤器（301）。11.根据权利要求1所述的一种带上料器真空气相沉积炉，其特征在于，所述加热元件为感应加热、电阻加热或燃料加热