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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113122821A(43)申请公布日2021.07.16(21)申请号202010044044.X(22)申请日2020.01.15(71)申请人株洲弗拉德科技有限公司地址412000湖南省株洲市天元区黄河南路天台科技园科瑞路12号(72)发明人言伟雄(74)专利代理机构广州粤高专利商标代理有限公司44102代理人杨千寻冯振宁(51)Int.Cl.C23C16/44(2006.01)C23C16/455(2006.01)C23C16/46(2006.01)C23C16/517(2006.01)C23C16/52(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图4页(54)发明名称一种搅拌式粉体真空气相沉积炉(57)摘要本发明提出了一种搅拌式粉体真空气相沉积炉,所述真空气相沉积炉包括加热炉体、冷却炉体、称重传感器、真空通道、上电极、进料管、测温部件;所述加热炉体内设置有弧形凹槽,凹槽内布置搅拌轴;炉盖上设有上电极,炉身内设有下电极。所述上电极和下电极分别与射频电源的两个输出电极相连或/和直流电源的两个输出电极相连。各部分受控的气压、气氛、电场、磁场、加热方式组合使用实现对粉体材料的真空气相沉积工艺,具有效率高,反应快的优点。CN113122821ACN113122821A权利要求书1/2页1.一种搅拌式粉体真空气相沉积炉,其特征在于,包括加热炉体、冷却炉体(8),所述加热炉体包括炉身(1)和炉盖(2);所述炉身(1)为一容器,容器内设置多个弧形凹槽,弧形凹槽内设有搅拌轴(101),炉身外设有驱动装置(107)用于驱动搅拌轴(101);炉身(1)设有加热元件(1010)和保温层;所述炉盖(2)设置在炉身(1)上方,炉盖设有保温层;炉盖(2)上至少设有一个真空管道(3),真空管道(3)底部设有进气口,所述进气口伸入炉身内,真空管道(3)连接抽真空装置(305);炉身(1)内设有上电极和下电极,所述上电极(5)底部设有上电极板(501),上电极板(501)上设有至少一个布气通孔,所述布气通孔连接进气管(502)、进气接头(503),工作气体通过进气接头(503)、进气管(502)、上电极板(501)上的布气孔进入炉身内;下电极(20)设置在上电极下方,下电极包括下电极板(2001)、连杆(2002),所述下电极板(2001)通过连杆(2002)连接有震动装置(21),物料在所述搅拌轴(101)搅动下进入下电极板(2001)上端面,在上端面上流动;所述上电极(5)和下电极(20)分别与射频电源(14)的两个输出电极相连或/和直流电源(15)的两个输出电极相连。2.根据权利要求1所述的一种搅拌式粉体真空气相沉积炉,其特征在于,还包括冷却炉体(8),所述冷却炉体(8)通过出料管(104)与加热炉体连接;所述冷却炉体(8)的炉盖(804)上设有排气管(807),炉体内设有搅拌轴(801),冷却炉体(8)通过底部出料管(810)卸料。3.根据权利要求2所述的一种搅拌式粉体真空气相沉积炉,其特征在于,所述冷却炉体(8)的炉壳为夹层结构,夹层内循环冷却水。4.根据权利要求2所述的一种搅拌式粉体真空气相沉积炉,其特征在于,所述冷却炉体(8)与加热炉体之间的出料管(104)数量不少于搅拌轴(101)数量。5.根据权利要求1所述的一种搅拌式粉体真空气相沉积炉,其特征在于,所述下电极板(2001)与水平面呈一定夹角,沿物料流动方向高度降低。6.根据权利要求1所述的一种搅拌式粉体真空气相沉积炉,其特征在于,所述下电极板(2001)上设有布料通孔,下电极板上端面中间高两端低。7.根据权利要求1所述的一种搅拌式粉体真空气相沉积炉,其特征在于,所述相邻搅拌轴轴心距离小于两个搅拌轴半径之和,相邻两个搅拌轴的搅拌齿交错转动。8.根据权利要求1所述的一种搅拌式粉体真空气相沉积炉,其特征在于,所述上电极(5)设置在炉盖(2)或炉身(1)上,所述上电极与炉盖(2)或炉身(1)之间绝缘。9.根据权利要求1所述的一种搅拌式粉体真空气相沉积炉,其特征在于,所述下电极还包括套管(2004)、端板(2005),所述连杆(2002)与震动装置(21)连接的一端设有端板(2005),所述下电极(20)通过端板(2005)与震动装置(21)连接,下电极板(2001)在震动装置(21)的驱动下震动。10.根据权利要求1所述的一种搅拌式粉体真空气相沉积炉,其特征在于,所述炉身外部设有支撑架(10);炉体上还布置有称重传感器(9),所述称重传感器(9)布置于加热炉体炉身(1)与其炉体支撑架(10)之间,或布置于地面上对加热炉体和炉体支撑架(10)予以支撑。11.根据权利要求1所述的一种搅拌式粉体真空气相沉积炉,其特征在于