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超高纯锗单晶的制备方法.pdf
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超高纯锗单晶的制备方法.pdf
本公开提供一种超高纯锗单晶的制备方法，包括以下步骤：步骤一，将区熔炉倾斜，使石英舟头部低于石英舟尾部；步骤二，将放好锗料的石英舟放入石英管中，关闭法兰；步骤三，在设备排气管比进气管细的前提下，通氢气吹扫；步骤四，将加热器升温由石英舟头部移动至石英舟尾部；步骤五，将加热器调至籽晶与锗料接触处进行化料；步骤六，化料完成后，加热器移动超出石英舟尾部时，距石英舟尾部较近的一边与加热器相距10～15cm，才将加热器调至籽晶与锗料熔接处开始下一次化料和区熔；步骤七，重复化料和区熔，区熔炉降温，将氢气切换为氮气，氮气吹
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2023-06-11
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