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一种换热装置及单晶炉.pdf
2023-06-15
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本发明提供了一种换热装置及单晶炉，涉及单晶硅制造技术领域。换热装置包括：内壁和外壁，其中，所述内壁靠近所述换热装置的中心轴线；所述内壁和所述外壁共同形成供冷却介质流动的腔体；所述内壁上设置有带内腔的至少一个凸起结构；所述凸起结构的凸起方向朝向所述中心轴线；所述凸起结构的内腔与所述内壁和所述外壁形成的腔体连通。凸起结构的凸起方向朝向晶棒，凸起结构的内腔与内壁和外壁形成的腔体连通，增大了换热面积，且减小了冷却介质与晶棒之间的水平距离，增加了拉晶过程中的纵向温度梯度，提高了拉晶速度，节省了拉晶时间。
2023-06-15
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换热装置、单晶炉及单晶生产系统.pdf
本发明涉及单晶硅生产技术领域，提供一种换热装置、单晶炉及单晶生产系统。换热装置包括：换热管，用于供换热介质流通；换热板，设置于换热管内并沿换热管的长度方向延伸，换热板与换热管的内壁连接，且换热板两侧的表面均与换热管的内壁之间具有间隙，用于供换热介质通过，换热板的导热率高于换热介质的导热率。换热装置通过在换热管内部设置换热板，能够提高换热装置与换热介质的换热效率，从而使换热装置能够提供更好的冷却效果，同时由于换热板设置在换热管的内部，因此不会增大换热管的体积，达到了在不增加换热装置的体积的前提下，提高换热装
2023-06-15
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一种单晶炉用换热系统及单晶炉.pdf
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2023-06-15
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单晶炉热场装置、单晶炉及单晶生长控制方法.pdf
本发明公开单晶炉热场装置、单晶炉及单晶生长控制方法。该单晶炉热场装置，包括：热屏，所述热屏在其中心形成有气流通道；换热部件，所述换热部件设置在所述气流通道内，并围合地形成提拉通道；所述热屏用于设置在坩埚的上方；所述热屏具有底部，所述底部至少部分地阻挡在所述换热部件与所述坩埚内的硅熔体液面之间。该单晶炉热场装置在热屏形成的气流通道内，设置换热部件，快速带走结晶释放的潜热；热屏的底部至少部分地阻挡在所述换热部件与硅熔体液面之间，改善热屏的效能；增加晶体纵向温度梯度，提高晶体生长速度。
2023-06-15
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一种单晶炉热场及单晶炉.pdf
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