内容提供者
籽晶生长的工艺方法.pdf
2023-06-15
10金币
365KB
6页
一吃****仪凡
实名认证
内容提供者
1/6
2/6
3/6
4/6
5/6
6/6
在线预览结束，喜欢就下载吧，查找使用更方便
相关资料
籽晶生长的工艺方法.pdf
本发明公开了一种籽晶生长的工艺方法，籽晶生长的工艺方法包括：将硅料放置于炉体内加热；对炉体加热至第一预定阶段，炉体内压力设定为90‑100mbar，炉体内进气量和出气量均小于10nl/min；对炉体加热至第二预定阶段，炉体内压力设定为250‑350mbar，炉体内进气量和出气量均小于10nl/min。根据本发明的籽晶生长的工艺方法，通过控制炉体内压力，且使进气量和出气量均小于10nl/min，由此可以降低气流流动速度，可以防止气流流向炉体的底部，从而可以避免气流激发炉体内底部的杂质，进而可以避免杂质与硅料
2023-06-15
10
365KB
籽晶夹头、籽晶夹头的控制方法和晶体生长炉.pdf
本发明公开了一种籽晶夹头、籽晶夹头的控制方法和晶体生长炉，单次长晶过程所需的籽晶的最小长度为L1，籽晶夹头包括外壳和第一驱动组件，外壳内限定出盛放腔，盛放腔包括第一盛放腔，第一盛放腔用于放置生长位籽晶，第一盛放腔的底部形成有通口，以使位于第一盛放腔的生长位籽晶的下端适于通过通口伸出，第一盛放腔的高度为L2，L2≥2*L1；第一驱动组件设于外壳且用于驱动位于第一盛放腔的生长位籽晶向下移动。根据本发明的籽晶夹头，可以缩短籽晶的更换时长，无需频繁更换籽晶，由此提升籽晶的更换效率。
2023-06-15
10
2.3MB
籽晶更换装置、晶体生长炉及籽晶更换方法.pdf
本发明涉及一种籽晶更换装置、晶体生长炉及籽晶更换方法，籽晶更换装置包括承载件、籽晶轴、控制组件及辅助件，承载件包括中空杆及与中空杆连接且连通的第一夹头，中空杆用于容置沿着其长度方向依次层叠设置的多个籽晶；籽晶轴包括籽晶杆及与籽晶杆连接的第二夹头；控制组件用于驱动承载件及籽晶轴在晶体生长炉内运动；在控制组件驱动承载件运动至辅助件时，辅助件用于将位于第一夹头的籽晶转移至辅助件；并在控制组件驱动籽晶轴运动至辅助件时，辅助件用于将位于辅助件的籽晶转移至第二夹头，或将位于第二夹头的籽晶转移至与辅助件。该籽晶更换装置
2023-06-15
10
1.4MB
晶体生长炉及籽晶更换方法.pdf
本发明涉及一种晶体生长炉及籽晶更换方法，晶体生长炉包括炉室、籽晶承载件、位置操纵机构和更换辅助件。籽晶承载件位于炉室，包括中空杆和与中空杆连接且连通的籽晶夹头，中空杆用于容置沿着其长度方向依次层叠设置的多个籽晶，籽晶夹头用于夹持籽晶；位置操纵机构活动设置于机构操纵区内；更换辅助件位于机构操纵区内。本发明的优点在于：沿着中空杆的长度方向，中空杆内可以依次层叠设置多个籽晶，籽晶夹头也能夹持一个籽晶，从而通过结构较为简单的籽晶承载件来实现在晶体生长炉的炉室内放置多个籽晶。而且，在籽晶承载件所能携带的籽晶的数量范
2023-06-15
10
1KB
籽晶提拉装置、晶体生长设备和籽晶提拉方法.pdf
本发明公开了一种籽晶提拉装置、晶体生长设备和籽晶提拉方法，籽晶提拉装置包括籽晶提拉件、籽晶旋转升降机构和水冷套，籽晶提拉件包括籽晶轴、籽晶夹持器和保持件，籽晶旋转升降机构、籽晶轴、籽晶夹持器和籽晶沿长晶炉的轴向依次相连，保持件内具有容纳腔，籽晶夹持器部分容纳于容纳腔内且可相对保持件绕籽晶的中心轴线旋转，籽晶旋转升降机构用于驱动籽晶绕自身的中心轴线旋转以及沿长晶炉的轴向移动，保持件与水冷套可沿长晶炉的轴向相对滑动地配合。根据本发明实施例的籽晶提拉装置，可以降低籽晶在炉体中产生震荡的震荡幅度或避免籽晶在炉体中
2023-06-15
10
716KB