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晶体生长炉及籽晶更换方法.pdf
2023-06-15
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秋花****姐姐
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籽晶更换装置、晶体生长炉及籽晶更换方法.pdf
本发明涉及一种籽晶更换装置、晶体生长炉及籽晶更换方法，籽晶更换装置包括承载件、籽晶轴、控制组件及辅助件，承载件包括中空杆及与中空杆连接且连通的第一夹头，中空杆用于容置沿着其长度方向依次层叠设置的多个籽晶；籽晶轴包括籽晶杆及与籽晶杆连接的第二夹头；控制组件用于驱动承载件及籽晶轴在晶体生长炉内运动；在控制组件驱动承载件运动至辅助件时，辅助件用于将位于第一夹头的籽晶转移至辅助件；并在控制组件驱动籽晶轴运动至辅助件时，辅助件用于将位于辅助件的籽晶转移至第二夹头，或将位于第二夹头的籽晶转移至与辅助件。该籽晶更换装置
2023-06-15
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晶体生长炉及籽晶更换方法.pdf
本发明涉及一种晶体生长炉及籽晶更换方法，晶体生长炉包括炉室、籽晶承载件、位置操纵机构和更换辅助件。籽晶承载件位于炉室，包括中空杆和与中空杆连接且连通的籽晶夹头，中空杆用于容置沿着其长度方向依次层叠设置的多个籽晶，籽晶夹头用于夹持籽晶；位置操纵机构活动设置于机构操纵区内；更换辅助件位于机构操纵区内。本发明的优点在于：沿着中空杆的长度方向，中空杆内可以依次层叠设置多个籽晶，籽晶夹头也能夹持一个籽晶，从而通过结构较为简单的籽晶承载件来实现在晶体生长炉的炉室内放置多个籽晶。而且，在籽晶承载件所能携带的籽晶的数量范
2023-06-15
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籽晶夹头、籽晶夹头的控制方法和晶体生长炉.pdf
本发明公开了一种籽晶夹头、籽晶夹头的控制方法和晶体生长炉，单次长晶过程所需的籽晶的最小长度为L1，籽晶夹头包括外壳和第一驱动组件，外壳内限定出盛放腔，盛放腔包括第一盛放腔，第一盛放腔用于放置生长位籽晶，第一盛放腔的底部形成有通口，以使位于第一盛放腔的生长位籽晶的下端适于通过通口伸出，第一盛放腔的高度为L2，L2≥2*L1；第一驱动组件设于外壳且用于驱动位于第一盛放腔的生长位籽晶向下移动。根据本发明的籽晶夹头，可以缩短籽晶的更换时长，无需频繁更换籽晶，由此提升籽晶的更换效率。
2023-06-15
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本发明公开了一种可在线更换籽晶的泡生法蓝宝石晶体生长炉，具有主炉腔和副炉腔，所述炉盖与副炉腔通过电动挡板阀隔开，电动挡板阀由炉台控制系统控制开关，在副炉腔左面设有冷却阀，右面设有开启副炉腔的炉门；所述籽晶杆安装在提拉系统上，并向下延伸依次穿过管体、副炉腔和炉盖，最终到达主炉腔的内部。使用时首先缓慢打开电动挡板阀，将籽晶杆提升至副炉腔，而后关闭电动挡板阀，对副炉腔内进行冷却，再对籽晶进行更换，最后抽真空、缓慢下降籽晶杆、预热籽晶，重新引晶。本发明能够实现在线更换籽晶，具有能耗低、生产成本低的优点，与此同时可
2023-06-18
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籽晶提拉装置、晶体生长设备和籽晶提拉方法.pdf
本发明公开了一种籽晶提拉装置、晶体生长设备和籽晶提拉方法，籽晶提拉装置包括籽晶提拉件、籽晶旋转升降机构和水冷套，籽晶提拉件包括籽晶轴、籽晶夹持器和保持件，籽晶旋转升降机构、籽晶轴、籽晶夹持器和籽晶沿长晶炉的轴向依次相连，保持件内具有容纳腔，籽晶夹持器部分容纳于容纳腔内且可相对保持件绕籽晶的中心轴线旋转，籽晶旋转升降机构用于驱动籽晶绕自身的中心轴线旋转以及沿长晶炉的轴向移动，保持件与水冷套可沿长晶炉的轴向相对滑动地配合。根据本发明实施例的籽晶提拉装置，可以降低籽晶在炉体中产生震荡的震荡幅度或避免籽晶在炉体中
2023-06-15
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