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籽晶夹头、籽晶夹头的控制方法和晶体生长炉.pdf
2023-06-15
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俊凤****bb
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籽晶夹头、籽晶夹头的控制方法和晶体生长炉.pdf
本发明公开了一种籽晶夹头、籽晶夹头的控制方法和晶体生长炉，单次长晶过程所需的籽晶的最小长度为L1，籽晶夹头包括外壳和第一驱动组件，外壳内限定出盛放腔，盛放腔包括第一盛放腔，第一盛放腔用于放置生长位籽晶，第一盛放腔的底部形成有通口，以使位于第一盛放腔的生长位籽晶的下端适于通过通口伸出，第一盛放腔的高度为L2，L2≥2*L1；第一驱动组件设于外壳且用于驱动位于第一盛放腔的生长位籽晶向下移动。根据本发明的籽晶夹头，可以缩短籽晶的更换时长，无需频繁更换籽晶，由此提升籽晶的更换效率。
2023-06-15
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本发明公开了一种籽晶夹头及直拉单晶炉，所述籽晶夹头中设置一中空结构，所述中空结构贯通所述籽晶夹头的上下两端。将其应用于直拉单晶炉中，使得所述直拉单晶炉中的惰性保护气体(如氩气)可以通过所述中空结构冷却晶棒头部的中间部分，与晶棒的边缘散热速度保持一致，使整个晶棒散热均匀，克服晶棒边缘散热快，中间散热慢的现象，提高晶棒的晶体质量。另外，所述籽晶夹头的外径与一晶棒的直径相等，有利于抑制直拉单晶炉下端向上辐射传热，减少通过所述中空结构向上散失热量，降低长晶的功耗，稳定控制长晶过程的热场温度分布，有利于晶棒的生长，
2023-06-17
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籽晶夹头及单晶提拉炉.pdf
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2023-06-17
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本发明涉及单晶炉设备，旨在提供一种单晶炉籽晶夹头结构。该种单晶炉籽晶夹头结构，包括重锤、开口套、夹头护套、籽晶夹头、钨丝绳。本发明的籽晶接头之间通过锥形面定位相连，定位同心度高，受力接触面大，籽晶不易折断。
2023-06-17
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一种制造籽晶夹头的方法.pdf
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