一种钼坩埚及其旋压工艺.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114570819A(43)申请公布日2022.06.03(21)申请号202210227690.9(22)申请日2022.03.08(71)申请人成都联虹钼业有限公司地址610100四川省成都市龙泉区经济技术开发区南京路198号(72)发明人周伟魏春肖李宝权石祖强汪浩(74)专利代理机构成都睿道专利代理事务所(普通合伙)51217专利代理师许立(51)Int.Cl.B21D22/14(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称一种钼坩埚及其旋压工艺(57)摘要本发明提供了一种钼坩埚的旋压工艺，包括如下步骤：S1、选料，选用金属元素杂质含量低于250ppm的钼板；S2、将步骤S1的钼板进行加热；S3、对钼板进行底部旋压成型，得到第一半成品；S4、对第一半成品进行圆边整形，得到第二半成品；S5、对第二半成品进行侧壁旋压，得到第三半成品；S6、对第三半成品进行在线调质处理，降温至室温，即得钼坩埚；本发明所提供的旋压工艺所生产出来的钼坩埚，具备材料损失少、致密性高、组织均匀、无烧结空洞缺陷的特点，适用于作为蓝宝石单晶生长炉、石英玻璃熔炼炉、稀土冶炼炉等工业炉内的核心容器。CN114570819ACN114570819A权利要求书1/1页1.一种钼坩埚的旋压工艺，其特征在于，包括如下步骤：S1、选料，选用金属元素杂质含量低于250ppm的钼板；S2、将步骤S1的钼板进行加热；S3、对钼板进行底部旋压成型，得到第一半成品；S4、对第一半成品进行圆边整形，得到第二半成品；S5、对第二半成品进行侧壁旋压，得到第三半成品；S6、对第三半成品进行在线调质处理，降温至室温，即得钼坩埚。2.根据权利要求1所述的钼坩埚的旋压工艺，其特征在于，在步骤S2中：将钼板加热至850‑900℃。3.根据权利要求1所述的钼坩埚的旋压工艺，其特征在于，在步骤S3中：在底部旋压成型中，材料变形量为5‑15％，控制底圆直径为100‑130mm，底部斜面锥度为5‑15°。4.根据权利要求3所述的钼坩埚的旋压工艺，其特征在于，在步骤S3中：在底部旋压成型完成后，在线对半成品外表面进行退火、消除加工硬化，退火温度为400℃‑800℃。5.根据权利要求1所述的钼坩埚的旋压工艺，其特征在于，在步骤S4中：采用双面倒角，端面车削。6.根据权利要求5所述的钼坩埚的旋压工艺，其特征在于，双面倒角的角度为30‑60°，倒角尺寸为1‑5mm。7.根据权利要求5所述的钼坩埚的旋压工艺，其特征在于，端面车削的进尺为5‑10mm。8.根据权利要求1所述的钼坩埚的旋压工艺，其特征在于，在步骤S5中：在侧壁旋压中，旋压机尾座跳动≤0.5‑5mm，如不满足，则停止加工，车削制耳，至距离模具20‑50mm。9.根据权利要求1所述的钼坩埚的旋压工艺，其特征在于，在步骤S6中：降温速率为3‑15℃/min。10.一种钼坩埚，其特征在于，由权利要求1‑9任意一项所述的旋压工艺制得。2CN114570819A说明书1/4页一种钼坩埚及其旋压工艺技术领域[0001]本发明涉及坩埚生产领域，具体而言，涉及一种钼坩埚及其旋压工艺。背景技术[0002]钼坩埚采用Mo‑1钼粉生产而成，使用温度在1100‑1700℃。主要应用于冶金工业、单晶硅、太阳能、人造晶体和机械加工等行业。由于钼的熔点高达2610℃，因此钼坩埚被广泛应用于蓝宝石单晶生长炉、石英玻璃熔炼炉、稀土冶炼炉等工业炉内的核心容器，其使用的工作温度环境一般在2000℃以上，特别对于蓝宝石单晶生长炉来说，具有高纯度、高密度、无内裂纹、尺寸精准、内外壁光洁等特征的坩埚炉对蓝宝石晶体生长过程中的种晶成功率、拉晶质量控制、脱晶粘锅以及使用寿命起到了关键性的作用。目前常采用的生产工艺压制烧结成型再经过工艺成型钼坩埚，所得到的钼坩埚质量较差。发明内容[0003]本发明提供了一种钼坩埚及其旋压工艺，能够有效解决常规工艺制得的钼坩埚质量差的问题。[0004]本发明提供了一种钼坩埚的旋压工艺，包括如下步骤：[0005]S1、选料，选用金属元素杂质含量低于250ppm的钼板；[0006]S2、将步骤S1的钼板进行加热；[0007]S3、对钼板进行底部旋压成型，得到第一半成品；[0008]S4、对第一半成品进行圆边整形，得到第二半成品；[0009]S5、对第二半成品进行侧壁旋压，得到第三半成品；[0010]S6、对第三半成品进行在线调质处理，降温至室温，即得钼坩埚。[0011]本发明实施例的技术方案至少具有如下优点和有益效果：[0012]本发明所提供的旋压工艺所生产出来的钼坩埚，具备材料损失少、致密性高、组织均匀、无烧结空洞缺陷的特点，适用于作为蓝宝石单晶生长炉、石英玻璃熔炼炉、稀土冶炼炉等工业炉