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一种退火炉的加热控制方法及退火炉.pdf
2023-06-16
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本发明公开了一种退火炉的加热控制方法及退火炉。方法主要包括原热源和辅助热源共同加热控制反应室设定温度T0高于工艺温度T1、放入预热后的舟体、反应室抽真空、反应室通入工艺气体、恒温工艺、工艺结束等步骤，通过对原热源、辅助热源控制，实现反应室迅速升温，辅助热源补偿自然散热、炉门打开散热和工艺气体进入的热量补偿，反应室恒温能力更强，有利于提升工艺效果；辅助热源含低功率和额定功率两档，根据反应室的温度自动调节，在保证反应室温度恒定的同时有效节约能源。装置包括炉体、石英管、原热源、辅助热源以及温控装置，增加辅助热源
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