一种溅射银残靶材的回收方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114959271A(43)申请公布日2022.08.30(21)申请号202210537490.3(22)申请日2022.05.18(71)申请人济源豫金靶材科技有限公司地址454650河南省济源市高新技术产业集聚区(72)发明人孙昊尚维国郑云丰常红慧赵岩(74)专利代理机构郑州大通专利商标代理有限公司41111专利代理师李秋红(51)Int.Cl.C22B7/00(2006.01)C22B11/02(2006.01)C23C14/34(2006.01)权利要求书1页说明书3页(54)发明名称一种溅射银残靶材的回收方法(57)摘要本发明公开了一种溅射银残靶材的回收方法。以标准银锭和银残靶材为原料进行混合配料，所得混合物料投入大气熔炼炉中进行加热熔化，熔化后所得熔液中通入氧气；氧气停止通入后关闭加热，减小氧气通入量，盖上保温盖进行静置；静置后停止通入氧气，所得熔液中加入草木灰或硼砂进行搅拌，去除浮渣；去除浮渣后所得熔液继续加热升温，升温过程中将木炭浸入熔液中，升温保温后加入草木灰或硼砂进行搅拌，捞出浮渣，将所得熔液倒入模具中冷却成型，得到制作溅射银靶的原料。本发明方法操作流程短、成本低、生产效率高，回收所得产品符合银靶生产所需的原料要求。CN114959271ACN114959271A权利要求书1/1页1.一种溅射银残靶材的回收方法，其特征在于，所述回收方法包括以下步骤：a、以标准银锭和银残靶材为原料进行配料，二者之间混合配制的重量比例为1～4：1；b、将步骤a配制的混合物料投入大气熔炼炉中进行加热熔化，熔化后所得熔液中通入氧气；氧气停止通入后关闭加热，减小氧气通入量，盖上保温盖进行静置；c、静置后停止通入氧气，所得熔液中加入草木灰或硼砂进行搅拌，去除浮渣；d、将步骤c去除浮渣后所得熔液继续加热升温，升温过程中将木炭浸入熔液中，加热至1120～1180℃条件下进行保温，保温时间为3～5min，保温后加入草木灰或硼砂进行搅拌，捞出浮渣，将所得熔液倒入模具中冷却成型，得到制作溅射银靶的原料。2.根据权利要求1所述的溅射银残靶材的回收方法，其特征在于：步骤b中所述加热熔化过程中温度控制为1030～1080℃。3.根据权利要求1所述的溅射银残靶材的回收方法，其特征在于：步骤b中所述氧气的通入量为2～20L/min，通入时间为1～3min。4.根据权利要求1所述的溅射银残靶材的回收方法，其特征在于：步骤b中所述减小氧气通入量，此时控制氧气通入量为0.5～2L/min。5.根据权利要求1所述的溅射银残靶材的回收方法，其特征在于：步骤b中所述静置的时间为2～5min。6.根据权利要求1所述的溅射银残靶材的回收方法，其特征在于：步骤c中所述草木灰或硼砂的加入量与熔液之间的重量配比为1：300～500。7.根据权利要求1所述的溅射银残靶材的回收方法，其特征在于：步骤d中所述木炭浸入熔液时，木炭浸入熔液的表面积与熔液体积之间的比例为1cm2：10～30cm3，浸入时间为2～5min。8.根据权利要求1所述的溅射银残靶材的回收方法，其特征在于：步骤d中所述草木灰或硼砂的加入量与熔液之间的重量配比为1：500～1000。2CN114959271A说明书1/3页一种溅射银残靶材的回收方法一、技术领域：[0001]本发明涉及一种溅射靶材的处理方法，具体涉及一种溅射银残靶材的回收方法。二、背景技术：[0002]溅射银靶主要用于玻璃行业、电子行业，在溅射过程中，通常溅射镀银层之前，先镀铬、镍铬合金和硅铝合金等材料。由于溅射过程中会出现反向沉积，前列材料与各类基材(玻璃、石英等)会沉积在银靶材上，导致银靶材中杂质元素含量升高。[0003]目前，对于由于沉积造成的溅射银残靶材的回收工艺主要为将溅射银残靶材熔化铸板，装入电解槽中电解，电解出的银粉再加入大气熔炼炉内熔化铸锭，制备出符合需求的原料。该工艺流程长、成本高，造成较大的贵金属中间占用，并在回收过程中银损耗较高，同时电解和两次铸锭对环境污染较严重，不利于环保。三、发明内容：[0004]本发明要解决的技术问题是：针对现有技术中回收溅射银残靶材存在的不足之处，本发明提供一种流程短、成本低、生产效率高的溅射银残靶材的回收方法。[0005]为了解决上述问题，本发明采取的技术方案是：[0006]本发明提供一种溅射银残靶材的回收方法，所述回收方法包括以下步骤：[0007]a、以标准银锭和银残靶材为原料进行配料，二者之间混合配制的重量比例为1～4：1；[0008]b、将步骤a配制的混合物料投入大气熔炼炉中进行加热熔化，熔化后所得熔液中通入氧气；氧气停止通入后关闭加热，减小氧气通入量，盖上保温盖进行静置；[0009]c、静置后停止通入氧气，所得熔液中加入草木灰或