单晶炉隔离阀板移动装置.pdf
一条****贺6
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单晶炉隔离阀板移动装置.pdf
本发明公开了一种单晶炉隔离阀板移动装置,包括阀体,阀体包括上板、下板,下板上设有开口,阀体内设置隔离阀板,隔离阀板封堵所述的开口,隔离阀板一个端面与所述的下板上端面贴合以封堵开口,另一个端面设有旋转臂,旋转臂固定连接主轴,主轴下端安装在下板上的下轴套内,主轴上端穿过安装在上板上的上轴套并与设置在上板上端面的提升气缸固定连接,提升气缸的提升方向为主轴轴线方向,主轴上端具有长条形孔,上板上端面还设有驱动所述主轴转动的驱动机构。在单晶炉作业过程中,采用隔离阀板移动装置,有效的提高了作业的简单化,降低劳动强度和成
单晶生长炉隔离阀腔体.pdf
本发明公开了一种单晶生长炉隔离阀腔体。它包括上法兰、下法兰、观察窗、阀口法兰、阀口接管、方形内胆、半圆内胆、方形外壳、半圆外壳、水圈、长塞堵、短塞堵、盖板、隔水块、隔水条、分水条、出水管、进水接头、卸压阀、真空接头、视口法兰、颈内管、颈外管;方形内胆和半圆内胆纵向焊接成筒状,形成腔体内胆,方形外壳和半圆外壳纵向焊接成筒状,形成腔体外壳,腔体内胆套在腔体外壳内,并焊在上法兰和下法兰之间,在腔体内胆和腔体外壳之间焊有隔水条和分水条,形成螺旋形水道。本发明设计简单,容易实现。用于单晶生长的设备中,作为隔离阀的腔
隔离阀盖装置和单晶炉.pdf
本发明涉及一种隔离阀盖装置,用于隔离单晶炉中的主炉室和副炉室,包括阀盖板和阀板轴,所述阀板轴上设置有第一进水口和第一出水口,所述阀盖板内均匀分布有多个相互连通的环形水槽,所述阀盖板上还设置有通过进水管路与所述第一进水口连通的第二进水口,以及通过出水管路与所述第一出水口连通的第二出水口。本发明还涉及一种单晶炉。
用于单晶炉的翻板阀装置.pdf
本发明提供一种用于单晶炉的翻板阀装置,单晶炉包括熔炼室与模室,翻板阀装置用于模室与熔炼室之间进行密封,所述翻板阀装置包括:翻板阀盖体,所述翻板阀盖体连接翻板阀安装梁;第一摇臂,第一摇臂与翻板阀安装梁相转动连接,第一摇臂由翻板阀轴带动绕翻板阀轴的轴线转动;第二摇臂,第二摇臂的第一端与翻板阀安装梁抗转动连接,第二摇臂的第二端在滑轨中滑动。据此,翻板阀装置通过连杆滑块结构能够实现熔炼室与模室之间的打开与关闭,并且能够易于检修。
一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀及单晶炉.pdf
本发明公开了一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀,包括翻板、翻转轴、连接翻转轴及翻板的连接板;其中在翻板内部设置了水道,可以通过引入冷却水的方式在翻板内部的水道流动带走翻板的热量,以达到冷却的效果,同时从翻转轴中的两个轴体分别引入进水通道及排水通道,这样不需要重新再设置其他管道结构,直接利用本身存在的翻转轴即可实现冷却水的引入。