单晶炉翻板限位机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102517628102517628B(45)授权公告日2014.12.17(21)申请号201110455260.4EP0590964A1,1994.04.06,CN201068790Y,2008.06.04,(22)申请日2011.12.21CN201836501U,2011.05.18,(73)专利权人西安创联新能源设备有限公司CN201723541U,2011.01.26,地址710065陕西省西安市电子城电子西街JP3670505B2,2005.07.13,3号审查员周劼聪(72)发明人时刚张灵鸽(74)专利代理机构西安智大知识产权代理事务所61215代理人弋才富(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)(56)对比文件CN202430326U,2012.09.12,CN201301851Y,2009.09.02,CN200982435Y,2007.11.28,CN201395637Y,2010.02.03,权权利要求书1页利要求书1页说明书2页说明书2页附图2页附图2页(54)发明名称单晶炉翻板限位机构(57)摘要一种单晶炉翻板限位机构，包括安装在阀体上的定位板，定位板上有定位豁口，还包括摇手臂，摇手柄安装在摇手臂的一端，摇手臂的另一端与翻板连接轴固定，在摇手柄上安装有弹簧，摇手臂上设有定位台，定位台用于定位弹簧的安装位置，在摇手柄靠近定位豁口的一端还装有定位螺母，定位螺母用于固定弹簧的位置，摇手柄上远离定位豁口的一端设有第一凹台和第二凹台，摇手臂上设有和摇手柄上的第一凹台和第二凹台相配合的凸台；本发明只通过单手拉动并转动摇手柄和摇手臂，即可定位使摇手柄的弹簧压缩或恢复，实现定位或者脱开，该机构能在翻板打开后能够固定翻板位置，防止翻板在单晶炉工作中关闭，机构简洁，操作方便，且限位安全可靠。CN102517628BCN1025768BCN102517628B权利要求书1/1页1.一种单晶炉翻板限位机构，其特征在于：包括安装在阀体(11)上的定位板(1)，定位板(1)上有定位豁口(2)，所述定位豁口(2)带有凸台，还包括摇手臂(4)，摇手柄(3)安装在摇手臂(4)的一端，摇手臂(4)的另一端与翻板连接轴(12)固定，在摇手柄(3)上安装有弹簧(5)，摇手臂(4)上设有定位台(10)，定位台(10)用于定位弹簧(5)的安装位置，在摇手柄(3)靠近定位豁口(2)的一端还装有定位螺母(6)，定位螺母(6)用于固定弹簧(5)的位置，所述定位螺母(6)为“工”字型，所述定位豁口(2)的凸台套入定位螺母(6)“工”字型的凹槽中，限制摇手柄(3)左右轴向移动；摇手柄(3)上远离定位豁口(2)的一端设有第一凹台(8)和第二凹台(9)，摇手臂(4)上设有和摇手柄(3)上的第一凹台(8)和第二凹台(9)相配合的凸台(7)。2CN102517628B说明书1/2页单晶炉翻板限位机构技术领域[0001]本发明涉及单晶炉技术领域，具体涉及一种单晶炉翻板限位机构。背景技术[0002]直拉硅单晶炉腔体分为上下两个部分，中间用翻板阀隔开。在拉晶过程中，翻板阀一直打开，上下腔体连同为一体，如遇到特殊状况，可将所拉晶体提升到上腔体中，将翻板关闭，隔开上下腔体，从上腔体中取出所拉晶体，下腔体的热场加热区域还处于高温化料状态，做好准备工作后，可以打开翻板阀继续拉晶。[0003]在拉晶过程中，如未出现特殊状况需关闭翻板阀时，翻板必须一直处于打开状态，目前直拉式圆形阀体结构单晶炉，翻板打开后没有停靠空间，如果翻板未固定好而转动，碰到晶棒会造成严重的质量事故，甚至会发生安全事故，因此增加一个安全可靠的翻板限位装置是非常必要的。有些单晶炉翻板限位结构只是在翻板手柄上安装一个螺钉，阀轴端面增加螺钉孔，当翻板处于打开状态时，手动选入螺钉固定翻板，此结构操作复杂，需两人配合完成，假如螺钉旋入深度不够，有可能会造成翻板定位失效，产生事故。发明内容[0004]为了克服上述现有技术存在的缺点，本发明的目的在于提供一种单晶炉翻板限位机构，该机构在翻板打开后能够固定翻板位置，防止翻板在单晶炉工作中关闭。[0005]为达到上述目的，本发明采用以下技术方案：[0006]一种单晶炉翻板限位机构，包括安装在阀体11上的定位板1，定位板1上有定位豁口2，还包括摇手臂4，摇手柄3安装在摇手臂4的一端，摇手臂4的另一端与翻板连接轴12固定，在摇手柄3上安装有弹簧5，摇手臂4上设有定位台10，定位台10用于定位弹簧5的安装位置，在摇手柄3靠近定位豁口2的一端还装有定位螺母6，定位螺母6用于固定弹簧5的位置，摇手柄3上远离定位豁口2的一端设有第一凹台8和第二凹台9，摇手臂4上设有和摇手柄3