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一种碳化硅外延炉用的碳化硅衬底转移装置及转移方法.pdf
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本发明公开一种碳化硅外延炉用的碳化硅衬底转移装置及转移方法，包括托举支架、衬底承载盘和盖体，托举支架上设置有两个左右相对设置的支撑臂，衬底承载盘可抽离地活动嵌置于两支撑臂之间，盖体连接于托举支架上并与衬底承载盘上下对应设置，盖体上设置有朝衬底承载盘方向吹气的吹气结构。本发明中通过盖体上的吹气结构对衬底承载盘中的待处理碳化硅衬底表面进行吹气，进而在碳化硅衬底表面形成一层保护气层，通过该保护气层可以有效保护待处理的碳化硅衬底免受腔体内部飘落的细小颗粒物的影响，使得腔体内部漂浮的细小颗粒物将难以飘落至碳化硅衬底
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