一种碳化硅晶筒转移装置.pdf
冬易****娘子
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相关资料
一种碳化硅晶筒转移装置.pdf
本发明公开了一种碳化硅晶筒转移装置,其包括相对设置的第一抓具和第二抓具,以及两个吊具,第一抓具和第二抓具分别用于抓取碳化硅晶筒的两端;第一抓具和第二抓具均包括安装座、两个相对设置的抓臂以及开合驱动机构,其中,两个相对设置的抓臂分别铰接在安装座的两端;开合驱动机构用于驱动两个抓臂相互靠近或远离。通过设置第一抓具和第二抓具以及两个吊具,能够增大对碳化硅晶筒的抓取重量,抓取重量可达到30~50t;并且,通过两个吊具可以调整第一抓具和第二抓具的间距以及高度,从而能够调整碳化硅晶筒在吊出时的倾斜角度,以将碳化硅晶筒
一种碳化硅外延炉用的碳化硅衬底转移装置及转移方法.pdf
本发明公开一种碳化硅外延炉用的碳化硅衬底转移装置及转移方法,包括托举支架、衬底承载盘和盖体,托举支架上设置有两个左右相对设置的支撑臂,衬底承载盘可抽离地活动嵌置于两支撑臂之间,盖体连接于托举支架上并与衬底承载盘上下对应设置,盖体上设置有朝衬底承载盘方向吹气的吹气结构。本发明中通过盖体上的吹气结构对衬底承载盘中的待处理碳化硅衬底表面进行吹气,进而在碳化硅衬底表面形成一层保护气层,通过该保护气层可以有效保护待处理的碳化硅衬底免受腔体内部飘落的细小颗粒物的影响,使得腔体内部漂浮的细小颗粒物将难以飘落至碳化硅衬底
一种晶圆片转移装置及腐蚀方法.pdf
本发明公开了一种晶圆片转移装置及腐蚀方法,装置包括升降组件、转动组件。升降组件设于基座上,其顶部转动配合有立杆,立杆顶部连接有倒U型架,倒U型架两端分别用于装配转移框,转移框内用于存放晶圆片;当立杆处于最低处时,倒U型架其中一端位于腐蚀池内,另一端位于操作台顶部,操作台用于完成倒U型架端部转移框的拆卸及更换;转动组件设于支撑杆上,用于在立杆处于最高处时将其转动180°。自动完成转移框在腐蚀池的下浸和提取过程,减少人工的参与,并降低人工接触酸性腐蚀液的风险。
一种坩埚及碳化硅长晶装置.pdf
本发明涉及一种坩埚及碳化硅长晶装置,本发明的坩埚内设置生长台来进行晶体生长,并在生长台的底部设置支撑杆实现生长台的支撑,在支撑杆内设置压力传感器,实现用于计算长晶速度的压力信号的测量,本发明的坩埚可实时获取坩埚内晶体生长速度,进而可提高长晶过程中温度控制的精度。
一种碳化硅晶须的制备方法.pdf
本发明公开了一种碳化硅晶须的制备方法,将碳源和诱导剂碳纤维放入在高温炉中经过高温高压处理,晶须的生长过程中与杂质分离,从而得到高纯度的碳化硅晶须,包括:碳源的预制备——放入碳纤维——抽真空——充入高纯氩气作为保护气——加热——保温保压——碳化硅晶须生长完成。碳源的预制备包括以碳纳米管作为原料,放入坩埚中。或以二氧化硅和硅的混合粉末作为碳源,碳化1——2h,并加水研磨15——20分钟,烘干。真空度为3——5Pa,加热温度为1200——1500度,加热时间为10——15min。该发明工艺方法简单,并且得到的碳