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碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法.pdf
2023-06-06
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雨巷****凝海
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碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法.pdf
碳化硅衬底具有第一主面和与第一主面相对的第二主面。碳化硅衬底包含螺旋位错和凹坑,所述凹坑在与第一主面平行的方向上的最大直径为1μm以上且10μm以下。在对第一主面观测螺旋位错和凹坑的情况下,凹坑的数量除以螺旋位错的数量而得到的比率为1%以下。在第一主面中,镁的浓度小于1×10<base:Sup>11</base:Sup>原子/cm<base:Sup>2</base:Sup>。
2023-06-06
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2023-11-26
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2023-06-15
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