PERC电池的热氧工艺及PERC电池.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115483316A(43)申请公布日2022.12.16(21)申请号202211304322.6(22)申请日2022.10.24(71)申请人晋能光伏技术有限责任公司地址030600山西省晋中市山西综改示范区晋中开发区新能源汽车园区广安东街533号申请人晋能清洁能源科技股份公司(72)发明人郭海志张伟秦积海崔宁李巧炜聂文君吕霞(74)专利代理机构山西晋扬知识产权代理事务所(特殊普通合伙)14125专利代理师梁雅男(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L31/068(2012.01)权利要求书1页说明书6页附图3页(54)发明名称PERC电池的热氧工艺及PERC电池(57)摘要本发明涉及一种PERC电池的热氧工艺及PERC电池，属于太阳能电池制备技术领域。包括：设置低压管式炉的温度为500‑650℃，并向炉内通入氧气和氮气，通氧量为500‑1500sccm，通氧时间为10‑25min，氮气流量为1500‑3000sccm；将低压管式炉的温度降低至450℃‑550℃，时间为5‑20min，并继续向炉内通入氧气和氮气，通氧流量为0‑1500sccm，氮气流量为1000‑5000sccm。本发明在不影响PERC电池效率的基础上，降低了PERC电池背面小白点的数量，提高了PERC电池背面的美观度。CN115483316ACN115483316A权利要求书1/1页1.一种PERC电池的热氧工艺，其特征在于，包括如下步骤：S1，进舟：将电池片放置于石英舟中并置入低压管式炉中，低压管式炉的炉内温度设置为500‑600℃，通入氮气作为保护气，氮气的流量为2800‑3200sccm，通入氮气的时间为8‑10min；S2，抽真空：将低压管式炉的炉内压力抽至90‑110mbar，抽真空时间为2‑5min，抽真空过程中以2900‑3100sccm的流量通入氮气；S3，检漏：关闭真空泵及各阀门，使低压管式炉密封环境下炉内压力上升小于5mbar/min；S4，通氧：设置低压管式炉的温度为500‑650℃，并向炉内通入氧气和氮气，通氧量为500‑1500sccm，通氧时间为10‑25min，氮气流量为1500‑3000sccm；S5，降温：将低压管式炉的温度降低至450℃‑550℃，时间为5‑20min，并继续向炉内通入氧气和氮气，通氧流量为0‑1500sccm，氮气流量为1000‑5000sccm；S6，充气出舟：向低压管式炉冲入氮气，关闭真空泵，当炉内压力恢复至900mbar后打开低压管式炉的炉门出舟。2.根据权利要求1所述的PERC电池的热氧工艺，其特征在于，所述S1中氮气的流量为3000sccm，通入氮气的时间为9min。3.根据权利要求1所述的PERC电池的热氧工艺，其特征在于，所述S2中将低压管式炉的炉内压力抽至100mbar，抽真空时间为5min，抽真空过程中以3000sccm的流量通入氮气。4.根据权利要求1所述的PERC电池的热氧工艺，其特征在于，所述S4中设置低压管式炉的温度为500‑600℃，通氧量为800‑1500sccm，通氧时间为12‑25min。5.根据权利要求4所述的PERC电池的热氧工艺，其特征在于，所述S4中设置低压管式炉的温度为600℃，通氧量为1200sccm，通氧时间为18min，氮气流量为2000sccm。6.根据权利要求1所述的PERC电池的热氧工艺，其特征在于，所述S5中将低压管式炉的温度降低至550℃，时间为10min，通氧流量为1000sccm，氮气流量为3000sccm。7.一种PERC电池，其特征在于，所述PERC电池采用权利要求1至6中任一权利要求所述的PERC电池的热氧工艺制备而成。2CN115483316A说明书1/6页PERC电池的热氧工艺及PERC电池技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种PERC电池的热氧工艺及PERC电池。背景技术[0002]目前，PERC(PassivatedEmitterandRearCell)电池的热氧工艺通过将硅片置于石英管中，高温加热通氧产生化学反应，在硅片表面发生化学反应形成SiO2层。SiO2可以钝化+硅片表面悬挂键起到很好的钝化作用，同时SiO2可以有效阻挡Na向电池片迁移，起到很好的抗PID(PotentialInducedDegradation，电位诱发衰减效应)效果。[0003]传统热氧的工艺条件是高温700‑900℃，氧气流量1000‑3000sccm，通氧工艺时间为15‑30min。然而，在实际生产过程中发现，在目前的高温高氧条件下进行热氧工艺时，PERC电池的背表面会存在小白点，如图1所示；显微镜下显示白点为膜前烧焦斑点，如