一种PERC电池的氧化工艺.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115036394A(43)申请公布日2022.09.09(21)申请号202210778401.4(22)申请日2022.07.04(71)申请人江苏润阳光伏科技有限公司地址224000江苏省盐城市建湖县经济开发区北京路1号(72)发明人杜乃生陈海钧李军勇(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L31/0216(2014.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种PERC电池的氧化工艺(57)摘要本发明提供一种PERC电池的氧化工艺，包括如下步骤：一、打开炉管进舟；二、抽压：三、第一次氧化：降温升压，在氧化炉管中通入一定量的氮气和氧气进行氧化层的第一次氧化；四、第二次氧化：在步骤三的基础上降温升压，在氧化炉管中通入一定量的氮气和氧气，进行氧化层的第二次氧化；五、第三次氧化：在步骤四的基础上降温，压力保持，在氧化炉管中通入一定量的氮气和氧气，进行氧化层的第三次氧化；六、回压：保持步骤五的温度，通入氮气使压力回复到常压状态；七、出舟。该氧化分为三个阶段，氧化阶段持续降温，实现边降温边氧化的进程，且改变低压环境在微负压环境下进行，提高氧化层效果，降低真空泵的损耗负担。CN115036394ACN115036394A权利要求书1/1页1.一种PERC电池的氧化工艺，其特征在于，采用管式氧化炉制备，包括如下步骤：步骤一，打开炉管进舟：将碱抛后的硅片于载舟装片，装片结束后放置于炉桨上准备进舟工艺，炉内通入一定流量的氮气，炉门打开，炉桨将载舟送入炉腔；步骤二，抽压：进舟结束，关闭炉门，升温抽压，使炉管内处于低压状态；步骤三，第一次氧化：降温升压，在氧化炉管中通入一定量的氮气和氧气进行氧化层的第一次氧化；步骤四，第二次氧化：在步骤三的基础上降温升压，在氧化炉管中通入一定量的氮气和氧气，进行氧化层的第二次氧化；步骤五，第三次氧化：在步骤四的基础上降温，压力保持，在氧化炉管中通入一定量的氮气和氧气，进行氧化层的第三次氧化；步骤六，回压：保持步骤五的温度，通入氮气使压力回复到常压状态；步骤七，出舟：炉门打开，炉桨将载舟拉出，工艺结束，炉门关闭。2.根据权利要求1所述的PERC电池的氧化工艺，其特征在于，步骤二抽压进行时间220s，升温抽压，将温度升到720‑750°，压力降至160mbar。3.根据权利要求2所述的PERC电池的氧化工艺，其特征在于，第一次氧化温度降低10°，同时通入氧气流量8000sccm，大氮流量1000sccm，缓慢将炉管内压力提高到700mbr，持续300s在硅片表面形成致密氧化膜。4.根据权利要求3所述的PERC电池的氧化工艺，其特征在于，第二次氧化持续通入氧气流量8000sccm，大氮流量1000sccm，温度降低30°，压力恢复到900mbar的微负压状态，持续900s在第一次氧化层基础上继续形成致密氧化膜。5.根据权利要求4所述的PERC电池的氧化工艺，其特征在于，第三次氧化持续通入氧气流量8000sccm，大氮流量1000sccm，温度降低30°，压力保持在900mbar的微负压状态，持续310s在第二次氧化层基础上继续形成致密氧化膜。6.根据权利要求1或5所述的PERC电池的氧化工艺，其特征在于，三次氧化完成后，保持最后一次氧化的温度，对炉管中通入流量为10000sccm的氮气让压力回复常压。2CN115036394A说明书1/3页一种PERC电池的氧化工艺技术领域[0001]本发明属于太阳能电池领域，尤其涉及一种PERC电池的氧化工艺。背景技术[0002]PERC（PassivatedEmitterandRearCell）太阳能电池是目前市场上较为流行的高效电池之一，制备方法一般为；制绒‑扩散‑正面激光掺杂‑去背面PSG‑碱抛‑氧化‑背面沉积钝化膜‑正面沉积减反膜‑背面激光开孔‑背电极、背电场和正电极印刷‑烧成。对于氧化工序，现有的手段是采用炉管内低压恒温的工艺进行，但是该工艺制作出的电池在EL测试时暴露了很多缺陷，如EL黑点、EL麻点等，严重影响电池成品的合格率，而且低压操作环境会增加氧化炉真空泵的寿命负担，叶片损耗变大，导致成本上升。发明内容[0003]鉴于以上，本发明提供一种PERC电池的氧化工艺，此氧化为碱抛后一工序，背面沉积钝化膜前一工序，氧化分为三个阶段，氧化阶段持续降温，实现边降温边氧化的进程，且改变低压环境在微负压环境下进行，提高氧化层效果，降低真空泵的负担，延长寿命，减少损耗。本发明具体技术方案如下。[0004]一种PERC电池的氧化工艺，其特征在于，采用管式氧化炉制备，包括如下步骤：步骤一，打开炉管进舟：将碱抛后的硅片于载舟装片，装片结束后放置于炉桨上准备进舟工艺，炉内通入一定流量的氮气