一种碳化硼长晶炉配料设备.pdf
雨巷****碧易
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一种碳化硼长晶炉配料设备.pdf
本发明涉及化工设备技术领域,尤其为一种碳化硼长晶炉配料设备,包括安装支架,所述安装支架的内壁上安装有储料组件,所述储料组件的一侧且位于安装支架的内壁上安装有称量组件,所述安装支架的内壁上安装有搅拌组件,本发明通过设置多组的储物桶的内腔依次放入不同的原材料,使得原材料依次落入托盘壳体的内腔,使得称重器的重量产生变化,称重器反馈数据给控制柜,控制柜只需要依次控制电控阀门放入原材料,就可以自动化准确的放入材料,原材料落入搅拌桶的内腔,使得伺服电机控制搅拌杆对原材料进行充分的混合均匀,使得伸缩液压杆推杆连接块对底
一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉.pdf
本发明公开了一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统,包括螺旋形的感应线圈、承载感应线圈的底座。所述底座包括旋转固定座及覆盖于旋转固定座上的旋转支座;所述感应线圈安装在旋转支座上,旋转支座旋转带动感应线圈沿感应线圈的中轴线旋转;通过调控感应线圈的旋转周期和旋转角度来控制感应线圈的磁场分布,从而调整温度场的分布。
一种碳化硅单晶的制备方法及一种单晶长晶炉、单晶长晶炉的加热装置.pdf
本发明涉及单晶制备技术领域,具体涉及一种碳化硅单晶的制备方法及一种单晶长晶炉、单晶长晶炉的加热装置。本发明提供了一种单晶长晶炉的加热装置,包括第一加热器1和第二加热器2,所述第二加热器2包括多个独立工作的加热单元21,所述第一加热器1为蛇形加热器或平面螺旋形加热器,所述加热单元21为环形加热器,本发明提供的加热装置能够实现对所述单晶生长腔内的温度进行精确控制,从而制备SiC单晶时能够得到高质量、大尺寸的SiC单晶。
一种碳化硅长晶炉生产设备的控制方法及控制系统.pdf
本申请涉及碳化硅晶体生产领域,具体公开了一种碳化硅长晶炉生产设备的控制方法及控制系统,方法包括:控制器获取碳化硅长晶炉生产设备的工作数据;服务器通过控制器获取至少一个受所述控制器管理的碳化硅长晶炉生产设备的工作数据;人机操作监控平台从服务器获取已存储的碳化硅长晶炉生产设备的工作数据并展示;人机操作监控平台接收工作数据调整指令,并响应于调整指令,以控制第一目标控制器进行相应工作数据的调整。工作人员通过人机操作监控平台即可完成在碳化硅长晶过程中,对工作数据的监控以及对工作数据的修改,无需人工现场巡检,十分方便
碳化硅长晶炉超导冷却机组.pdf
本发明涉及碳化硅长晶炉超导冷却机组,包括外壳及位于外壳内部的多组相互连接的板式换热器和冷凝器;所述板式换热器通过两条管道与长晶炉炉体连接,一条管道自长晶炉炉体输送载冷剂至板式换热器内,载冷剂经所述板式换热器降温后,经另一条管道输送至水晶炉炉体内;所述板式换热器内接收载冷剂的管道联通至冷凝器内,所述冷凝器将载冷剂降温后,通过另一条管道经板式换热器内部输送至长晶炉炉体内。具有能耗低、温度控制恒定的优点,弥补了传统冷却机房通过冷却塔冷却方式消耗大量水源的不足。