一种碳化硅长晶炉生产设备的控制方法及控制系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110552062A(43)申请公布日2019.12.10(21)申请号201910775740.5(22)申请日2019.08.21(71)申请人山东天岳先进材料科技有限公司地址250100山东省济南市高新区新宇路西侧世纪财富中心AB座1106-6-01(72)发明人王大伟宗艳民曲光军赵爱梅王雅儒(74)专利代理机构济南千慧专利事务所(普通合伙企业)37232代理人韩玉昆(51)Int.Cl.C30B29/36(2006.01)C30B35/00(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图2页(54)发明名称一种碳化硅长晶炉生产设备的控制方法及控制系统(57)摘要本申请涉及碳化硅晶体生产领域，具体公开了一种碳化硅长晶炉生产设备的控制方法及控制系统，方法包括：控制器获取碳化硅长晶炉生产设备的工作数据；服务器通过控制器获取至少一个受所述控制器管理的碳化硅长晶炉生产设备的工作数据；人机操作监控平台从服务器获取已存储的碳化硅长晶炉生产设备的工作数据并展示；人机操作监控平台接收工作数据调整指令，并响应于调整指令，以控制第一目标控制器进行相应工作数据的调整。工作人员通过人机操作监控平台即可完成在碳化硅长晶过程中，对工作数据的监控以及对工作数据的修改，无需人工现场巡检，十分方便，减少了人工成本。并且通过集中管理控制碳化硅长晶炉生产设备，提高了生产效率。CN110552062ACN110552062A权利要求书1/2页1.一种碳化硅长晶炉生产设备的控制方法，其特征在于，所述方法包括：控制器获取碳化硅长晶炉生产设备的工作数据；服务器通过所述控制器获取至少一个受所述控制器管理的碳化硅长晶炉生产设备的工作数据；人机操作监控平台从所述服务器获取已存储的碳化硅长晶炉生产设备的工作数据并展示；所述人机操作监控平台接收工作数据调整指令，并响应于所述调整指令，通过所述服务器向第一目标控制器发送控制指令，以控制所述第一目标控制器进行相应工作数据的调整，其中，所述第一目标控制器为待调整工作数据的控制器。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：所述人机操作监控平台接收生产配方发送指令，并响应于所述发送指令，通过所述服务器向第二目标控制器发送生产配方数据，以使所述第二目标控制器根据所述生产配方生产碳化硅晶体，其中，所述第二目标控制器为待接收生产配方的控制器。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，一个控制器用于管理至少一个碳化硅长晶炉生产设备。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述服务器通过所述控制器获取至少一个受所述控制器管理的碳化硅长晶炉生产设备的工作数据之后，所述方法还包括：若所述服务器确定获取到的至少一项工作数据超过预设阈值，则所述服务器通过所述人机操作监控平台采用预设的告警方式发出告警，所述预设告警方式至少包括图像显示和/或音频播放。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，工作数据包括碳化硅长晶炉生产设备的运行数据和/或工艺参数，碳化硅长晶炉生产设备的运行数据包括传感器运行数据和/或执行器运行数据。6.一种碳化硅长晶炉生产设备的控制系统，其特征在于，所述系统包括：控制器，所述控制器用于获取碳化硅长晶炉生产设备的工作数据；服务器，所述服务器用于服务器通过所述控制器获取至少一个受所述控制器管理的碳化硅长晶炉生产设备的工作数据；人机操作监控平台，人机操作监控平台从所述服务器获取已存储的碳化硅长晶炉生产设备的工作数据并展示；所述人机操作监控平台还用于接收工作数据调整指令，并响应于所述调整指令，通过所述服务器向第一目标控制器发送控制指令，以控制所述第一目标控制器进行相应工作数据的调整，其中，所述第一目标控制器为待调整工作数据的控制器。7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述人机操作监控平台还用于：接收生产配方发送指令，并响应于所述发送指令，通过所述服务器向第二目标控制器发送生产配方数据，以使所述第二目标控制器根据所述生产配方生产碳化硅晶体，其中，所述第二目标控制器为待接收生产配方的控制器。8.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，一个控制器用于管理至少一个碳化硅长晶炉生产设备。9.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，若所述服务器确定获取到的至少一项工作2CN110552062A权利要求书2/2页数据超过预设阈值，则所述服务器还用于：通过所述人机操作监控平台采用预设的告警方式发出告警，所述预设告警方式至少包括图像显示和/或音频播放。10.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，工作数据包括碳化硅长晶炉生产设备的运行数据和/或工艺参数，碳化硅长晶炉生产设备的运行数据包括传感器运行数据和/或执行器运行数据。3CN110552062A说明书1/4页一种碳化