一种清洁设备及清洁方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115945472A(43)申请公布日2023.04.11(21)申请号202211574805.8(22)申请日2022.12.08(71)申请人青海晶科能源有限公司地址810021青海省西宁市城中区时代大道108号1号楼10楼1002室(72)发明人罗永伟陈铭赵杰华(74)专利代理机构上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)31260专利代理师成丽杰(51)Int.Cl.B08B9/035(2006.01)C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)B08B9/047(2006.01)B08B13/00(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图4页(54)发明名称一种清洁设备及清洁方法(57)摘要本发明实施例涉及晶硅生产领域，公开了一种清洁设备及清洁方法。本发明中，通过吸尘组件、驱动装置和集尘桶对单晶炉排气系统的排气管道内壁进行清洁，便于及时吸收清洁下来的氧化物固体，防止清洁后有挥发物飘散，从而保证单晶炉排气管道内壁的环境卫生；通过升降装置带动底座板的运动，从而带动驱动装置和吸尘组件的移动，在使用机械装置进行清洁时，力度可控，可保证多次清洁的效果一致；通过使用清洁设备进行清洁，节省清洁时的人员需求，节省人力并提高清洁的效率。CN115945472ACN115945472A权利要求书1/1页1.一种清洁设备，其特征在于，包括：吸尘组件，驱动装置，底座板，升降装置，移动承载车和集尘桶；所述吸尘组件与所述驱动装置和所述集尘桶连接；所述驱动装置安装于所述底座板，所述底座板与所述升降装置顶端连接，所述升降装置用于通过所述底座板带动驱动装置和所述吸尘组件的移动；所述升降装置与所述集尘桶位于所述移动承载车上。2.根据权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，所述吸尘组件还包括：刷头部分，向下延伸部和吸尘软管；所述向下延伸部的下端连接所述刷头部分，所述向下延伸部的上端连接所述驱动装置；所述吸尘软管连接所述向下延伸部和所述集尘桶。3.根据权利要求2所述的清洁设备，其特征在于，所述向下延伸部包括：吸尘直管和贯穿于所述吸尘直管内部的旋转轴；所述旋转轴连接所述刷头部分和所述驱动装置；所述吸尘直管连接所述吸尘软管。4.根据权利要求3所述的清洁设备，其特征在于，所述吸尘直管和/或所述旋转轴的长度为2m～3m。5.根据权利要求3所述的清洁设备，其特征在于，所述吸尘直管还包括吸尘管口，所述吸尘管口为漏斗状管口。6.根据权利要求2所述的清洁设备，其特征在于，所述刷头部分包括：直管口刷头，弯曲软管和软管刷头，其中，所述直管口刷头覆有毛刷；所述直管口刷头用于清洁排气管道的直管管道，所述弯曲软管和所述软管刷头用于清洁排气管道的弯曲管道。7.根据权利要求6所述的清洁设备，其特征在于，所述直管口刷头为可拆卸刷头。8.根据权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，所述底座板包括：底座板限位卡槽和底座板液压装置；其中，所述底座板限位卡槽用于限制所述驱动装置的可移动区域；所述底座板液压装置与所述驱动装置连接，所述液压装置控制所述驱动装置的水平移动。9.根据权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，所述升降装置的升降高度为2～5m。10.一种清洁方法，其特征在于，使用如权利要求1至9中任一项所述的清洁设备对排气管道进行清洁。11.根据权利要求10所述的清洁方法，其特征在于，使用所述清洁设备对排气管道进行清洁之前，先控制所述驱动装置在底座板上水平移动，再控制所述升降装置通过所述底座板带动驱动装置和所述吸尘组件的移动。12.根据权利要求10所述的清洁方法，其特征在于，使用权利要求3所述的清洁设备对排气管道进行清洁时，所述驱动装置带动所述旋转轴旋转，从而带动所述刷头部分进行旋转清洁。2CN115945472A说明书1/5页一种清洁设备及清洁方法技术领域[0001]本发明实施例涉及晶硅生产领域，特别涉及一种清洁设备及清洁方法。背景技术[0002]单晶炉是生产单晶硅的拉晶装置，工作时，单晶炉炉体内的气体成分是影响产品质量的关键因素之一。在拉制过程中，单晶炉内会产生大量氧化物，氧化物通过位于单晶炉底板上的排气系统的排气管道向炉外排出。然而，氧化物容易附着在排气管道内壁，在氧化物堆积到一定程度时，排气管道内会被累积下来的附着氧化物堵塞，不利于单晶炉继续排气，从而降低硅棒品质。[0003]目前对于单晶炉排气管道的清理，需要作业人员使用刷头和刮刀等小型疏通工具对排气管道进行人工清洁，浪费人力且工作环境差，并存在多次清洁但清洁效果不一致的情况出现。发明内容[0004]本发明实施方式的目的在于提供一种清洁设备及清洁方法，通过机械装置对单晶炉排气系统的排气管道内壁进行清洁，及时吸收清洁下来的氧化物固体，防止清洁后有挥