晶体旋转称重系统以及晶体生长炉系统.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115976635A(43)申请公布日2023.04.18(21)申请号202211690384.5(22)申请日2022.12.28(71)申请人南京晶升装备股份有限公司地址210034江苏省南京经济技术开发区红枫科技园B4栋西侧(72)发明人李辉张培丁柏松毛瑞川(74)专利代理机构北京惠科金知识产权代理有限公司11981专利代理师苑朝阳(51)Int.Cl.C30B15/28(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称晶体旋转称重系统以及晶体生长炉系统(57)摘要本发明公开一种晶体旋转称重系统，涉及晶体生长技术领域，可以包括：称重传感器，所述称重传感器安装于真空腔室内；旋转装置，所述旋转装置安装于所述称重传感器的下方，且能够与籽晶连接，并带动籽晶旋转；提拉装置，所述提拉装置与所述真空腔室连接，并带动所述真空腔室上下移动。本发明还公开了一种晶体生长炉系统，包括晶体生长炉以及上述的晶体旋转称重系统。本发明能够提高称重部件的测量精度，降低对晶体生长的影响。CN115976635ACN115976635A权利要求书1/1页1.一种晶体旋转称重系统，其特征在于：包括：称重传感器，所述称重传感器安装于真空腔室内；旋转装置，所述旋转装置安装于所述称重传感器的下方，且能够与籽晶连接，并带动籽晶旋转；提拉装置，所述提拉装置与所述真空腔室连接，并带动所述真空腔室上下移动。2.根据权利要求1所述的晶体旋转称重系统，其特征在于：还包括立柱和配重组件，所述立柱的顶部设置有定滑轮组件，所述配重组件还连接有连接绳，所述连接绳远离所述配重组件的一端经过所述定滑轮组件并能够与所述真空腔室连接，以平衡所述真空腔室对所述提拉装置竖直方向的力矩，所述定滑轮组件能够对所述连接绳进行导向。3.根据权利要求2所述的晶体旋转称重系统，其特征在于：所述提拉装置为直线模组，所述真空腔室的一侧能够安装于所述直线模组上，所述立柱位于所述直线模组背对所述真空腔室的一侧。4.根据权利要求3所述的晶体旋转称重系统，其特征在于：所述定滑轮组件包括安装支架和定滑轮，所述安装支架的顶部两侧均安装有一个所述定滑轮，两个所述定滑轮分别位于所述真空腔室和所述配重组件的上方，以使所述连接绳能够在竖直方向上对所述真空腔室以及所述配重组件施加拉力。5.根据权利要求4所述的晶体旋转称重系统，其特征在于：所述立柱内沿竖直方向设置有中空腔体，所述配重组件位于所述中空腔体内，且所述中空腔体内沿竖直方向设置有直线轴承，所述配重组件滑动安装于所述直线轴承上。6.根据权利要求1所述的晶体旋转称重系统，其特征在于：所述称重传感器通过传感器固定板安装于所述真空腔室内，所述称重传感器的下方设置有称重连接板，所述称重连接板下方连接有用于安装旋转装置的安装支架。7.根据权利要求6所述的晶体旋转称重系统，其特征在于：所述旋转装置为旋转电机，所述旋转电机安装于所述安装支架上，所述旋转电机的输出轴向下穿过所述安装支架的底部，并连接有中部连接轴，所述中部连接轴的下部用于连接籽晶。8.根据权利要求7所述的晶体旋转称重系统，其特征在于：所述安装支架的底部设置有开口，所述旋转电机的输出轴穿过所述开口，并通过轴座与所述安装支架转动连接。9.根据权利要求8所述的晶体旋转称重系统，其特征在于：所述旋转电机的输出轴的底部通过联轴器连接有提升轴，所述提升轴的底部与所述中部连接轴的顶部固定连接。10.一种晶体生长炉系统，其特征在于：包括晶体生长炉以及如权利要求1‑9任意一项所述的晶体旋转称重系统。2CN115976635A说明书1/4页晶体旋转称重系统以及晶体生长炉系统技术领域[0001]本发明涉及晶体生长技术领域，特别是涉及一种晶体旋转称重系统以及晶体生长炉系统。背景技术[0002]碳化硅单晶炉、硅单晶炉等各类型的高温炉，由于晶体生长情况大多是不可见的，而晶体实际生长情况又是晶体生长成败的关键，实时连续地测定随时间变化的晶体生长速率对于晶体的生长至关重要。[0003]由于国内外对晶体材料的大量应用，国内晶体生长设备市场的快速发展，尤其是对提拉法生长晶体设备的需求日益提高；提拉法晶体生长过程中晶体的质量增加非常缓慢，这对称重机构的称重分辨率提出了严格要求。为了减小由于生长机构引起的预加载荷在整体称重量程中所占比例，充分利用称重传感器的量程及精度，当今的自动化晶体生长机构往往采用上称重方法，其中，上称重方法所采用的称重传感器为工业级的应力片式称重传感器，根据下部所挂物体重力大小，引起应力片微量变形，来检测物体电学特性变化，进而测量物体重量。[0004]目前，将称重传感器安装于提拉装置中时，称重传感器大都布置在真空腔体外，而在长晶过程中称重部件向上运动时，称重部件容易受