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物料供给装置以及晶体生长系统.pdf
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阳炎****找我
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物料供给装置以及晶体生长系统.pdf
本发明公开的物料供给装置，用于向炉体内部的坩埚中供给物料，物料供给装置包括储料机构、振动输料机构和喂料机构，储料机构用于容纳物料且具有出料口，振动输料机构包括输料部和振动模组，输料部与所述储料机构的出料口对接，振动模组作用于输料部且使得由储料机构落入输料部中的物料在气密状态下移向喂料机构，喂料机构将物料从炉体外部输入炉体内部。本发明公开的晶体生长系统，包括炉体，坩埚以及如上所述的物料供给系统，物料供给装置给坩埚传送物料。本发明提高了单晶硅棒的生产效率，同时提高了外部加料的稳定性和安全性。
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本发明公开的物料供给装置，用于向炉体内部的坩埚中供给物料，物料供给装置包括储料机构、喂料机构和投料通路，储料机构包括料筒和控料体，料筒用于容纳物料且具有出料口，控料体设置于所述料筒、且可相对于料筒出料口移动，容纳于料筒中的物料从料筒出料口与控料体的间隙离开料筒，喂料机构具有将物料从炉体外部输入炉体内部的喂料通路，投料通路位于炉体内部且与坩埚相对，喂料通路对接投料通路，物料经喂料通路导入投料通路并由投料通路输入坩埚中。本发明公开的晶体生长系统，包括炉体，设置于炉体内用于盛装物料的坩埚，以及如上所述的物料供给
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本发明公开的物料供给装置，用于向炉体内部的坩埚中供给物料，物料供给装置包括喂料机构和至少一个投料通路，喂料机构具有将物料从炉体外部输入炉体内部的喂料通路，至少一个投料通路位于炉体内部且与坩埚相对，喂料通路对接所述至少一个投料通路，物料经喂料通路导入至少一个投料通路并由至少一个投料通路输入坩埚中。本发明公开的晶体生长系统，包括炉体；坩埚，坩埚设置在炉体内部，用于盛装物料；以及如上所述的物料供给装置，物料供给装置用于向坩埚供给物料。本发明满足了大加料量的要求，加料过程与单晶硅棒冷却过程可以并行，缩短了加料时间
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