太阳电池及其制备方法、光注入装置及光注入系统.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116014036A(43)申请公布日2023.04.25(21)申请号202310087012.1(22)申请日2023.01.30(71)申请人通威太阳能(成都)有限公司地址610000四川省成都市双流区西南航空港经济开发区工业集中发展区六期内(72)发明人谈仕祥(74)专利代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)11463专利代理师吕露(51)Int.Cl.H01L31/20(2006.01)H01L31/0224(2006.01)H01L31/06(2012.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图3页(54)发明名称太阳电池及其制备方法、光注入装置及光注入系统(57)摘要太阳电池及其制备方法、光注入装置及光注入系统，属于光伏技术领域。光注入装置包括加热炉，和设置于加热炉的炉腔内的注光灯和输送机。加热炉的炉腔的两端均具有炉口，每个炉口均设置有炉门，用于可选择的封闭和暴露炉腔。利用本申请提供的光注入装置进行电镀有铜栅线的电池片的光注入时，可以将待进行光注入的电池片放置于炉腔内的输送机上，然后关闭炉门，形成密封腔室。然后对炉腔进行抽真空，充入氮气等惰性气氛调节气氛至常压，然后升高炉腔内的温度，并利用设置于炉腔内的注光灯照射电池片，进行光注入。在惰性气氛下进行电池片的光注入，可以防止铜栅线发生氧化，提高太阳电池的转化效率和电流收集效率。CN116014036ACN116014036A权利要求书1/2页1.一种太阳电池的制备方法，其特征在于，包括：在电池片主体上形成铜种子层，在铜种子层上形成光刻胶层；对光刻胶层进行曝光、显影，形成暴露部分所述铜种子层的栅线槽；在所述栅线槽内形成电镀铜栅线，去除所述光刻胶，获得电池片；对所述电池片进行光注入；其中，所述光注入包括：在惰性气氛下，对所述电池片进行加热以及光照辐射。2.根据权利要求1所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，所述光注入步骤中，所述加热的温度为100‑300℃，所述光照辐射的强度为30‑60suns；可选的，所述加热的温度为200‑220℃；可选的，所述惰性气氛包括氮气。3.一种太阳电池，其特征在于，根据权利要求1或2所述的太阳电池的制备方法制备获得。4.一种光注入装置，用于铜栅线太阳电池的光注入，其特征在于，包括：加热炉，所述加热炉的内部设置有炉腔，所述炉腔的两端均具有炉口；每个炉口均设置有炉门，用于可选择的封闭和暴露所述炉腔；注光灯，所述注光灯设置于所述炉腔，用于照射放置于所述炉腔内的太阳电池；输送机，设置于所述炉腔，用于输送所述太阳电池。5.根据权利要求4所述的光注入装置，其特征在于，所述输送机为辊式输送结构，所述辊式输送结构包括第一侧板和第二侧板，以及间隔设置于所述第一侧板和所述第二侧板之间的多根滚筒；所述第一侧板和所述第二侧板的两端分别从所述炉口延伸至所述炉腔之外，且所述第一侧板和所述第二侧板均具有两个用于与所述加热炉的炉壁接触的接触部；每个接触部均嵌设于所述加热炉靠近所述炉口的所述炉壁，且每个所述接触部两侧的所述滚筒沿其径向的顶面不低于所述炉壁；所述炉门可选择的与所述炉壁接触，以封闭和暴露所述炉口。6.根据权利要求5所述的光注入装置，其特征在于，所述光注入装置包括载具，所述太阳电池通过所述载具放置于所述滚筒上；所述载具包括承载板和设置于所述承载板的吸附孔。7.根据权利要求6所述的光注入装置，其特征在于，所述承载板包括多个承载部，每个所述承载部均设置有所述吸附孔。8.根据权利要求7所述的光注入装置，其特征在于，所述承载板的内部设置有吸附腔，每个所述吸附孔均与所述吸附腔连通；所述吸附腔的腔口设置有调压阀，用于可选择的增大或减少所述吸附腔的压力，以吸附或解吸所述太阳电池。9.一种光注入系统，其特征在于，包括：权利要求4‑8任一项所述的光注入装置；所述输送机具有相对的第一端和第二端；设置于所述加热炉的一端的第一输送带和第一运转机，以及设置于所述加热炉的另一端的第二输送带和第二运转机；所述第一运转机往返于所述第一输送带和所述第一端，所述第二运转机往返于所述第二输送带和所述第二端，用于转运太阳电池；可选的，所述第一输送带和所述第一端之间设置有第一存放台；可选的，所述第二输送带和所述第二端之间设置有第二存放台。2CN116014036A权利要求书2/2页10.根据权利要求9所述的光注入系统，其特征在于，所述第一运转机和/或所述第二运转机包括丝杆、导向杆和吸盘；所述吸盘与所述丝杆螺纹连接，同时与所述导向杆滑动连接。3CN116014036A说明书1/8页太阳电池及其制备方法、光注入装置及光注入系统技术领域[0001]本申请涉及太阳电池技术领域，具体而言，涉及太阳电池及其制备方