光注入设备及电池片加工系统.pdf

本实用新型涉及一种光注入设备及电池片加工系统,包括:传送模组,所述传送模组包括多个并排设置且可转动的传送辊,所述传送辊用于承载并传送电池片向目标工位移动,所述传送辊设有相连通的介质流入口、介质流动通道和介质流出口,所述传送辊能够对所述电池片换热降温;以及风冷模组,所述风冷模组间隔设置于所述传送模组的上方,用于向所述电池片吹送冷风。如此可降低电池片的温度,并提高温度均匀性,很好的改善局部温度异常过高等问题,使电池片的温度维持在可承受范围内,避免电池片的温度偏高区域出现非晶硅层钝化异常,进而出现PL发黑、发暗弧形区域,改善弧形印迹的质量缺陷,提高产品良率。