一种碳化硅单晶炉.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116005261A(43)申请公布日2023.04.25(21)申请号202211735551.3(22)申请日2022.12.28(71)申请人厦门天三半导体有限公司地址361000福建省厦门市火炬高新区石墨烯新材料产业园五显路866-7号201A(72)发明人龙博腾(74)专利代理机构厦门律嘉知识产权代理事务所(普通合伙)35225专利代理师温洁(51)Int.Cl.C30B29/36(2006.01)C30B25/00(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图16页(54)发明名称一种碳化硅单晶炉(57)摘要本发明公开了一种碳化硅单晶炉，属于碳化硅单晶炉技术领域，包括反应区，反应区包括反应坩埚，反应坩埚的外侧配置有反应罩，反应罩外套设有感应线圈，感应线圈上配置有第一升降组件，反应坩埚的底部配置有用于升降反应坩埚的第二升降组件以及用于旋转反应坩埚的旋转组件；第一升降组件包括定位丝杆、第一滑块、移动丝杆以及固定支架，定位丝杆以及移动丝杆位于固定支架上，第一滑块穿过定位丝杆且在定位丝杆上滑动，第一滑块的一侧与感应线圈连接，第一滑块的另一侧与移动丝杆连接，固定支架上配置有电力组件，通过在反应坩埚上设置有第二升降组件以及旋转组件，使得反应坩埚在反应区内能够旋转并且升降，使得加热均匀，反应彻底。CN116005261ACN116005261A权利要求书1/2页1.一种碳化硅单晶炉，其特征在于：包括反应区(1)，所述反应区(1)包括反应坩埚(11)，所述反应坩埚(11)的外侧配置有反应罩(12)，所述反应罩(12)外套设有感应线圈(13)，所述感应线圈(13)上配置有第一升降组件(131)，所述反应坩埚(11)的底部配置有用于升降所述反应坩埚(11)的第二升降组件(111)以及用于旋转所述反应坩埚(11)的旋转组件(112)；所述第一升降组件(131)包括定位丝杆(1311)、第一滑块(1312)、移动丝杆(1313)以及固定支架(1314)，所述定位丝杆(1311)以及所述移动丝杆(1313)位于所述固定支架(1314)上，所述第一滑块(1312)穿过所述定位丝杆(1311)且在所述定位丝杆(1311)上滑动，所述第一滑块(1312)的一侧与所述感应线圈(13)连接，所述第一滑块(1312)的另一侧与所述移动丝杆(1313)连接，所述固定支架(1314)上配置有用于驱动所述第一滑块(1312)移动的电力组件(1315)。2.根据权利要求1所述的碳化硅单晶炉，其特征在于：所述第二升降组件(111)包括升降支架(1111)、马达(1112)、蜗轮(1113)以及蜗杆(1114)，所述反应坩埚(11)的底部配置有底板(114)，所述反应坩埚(11)以及所述底板(114)之间连接有连接杆(113)；所述马达(1112)、所述蜗轮(1113)以及所述蜗杆(1114)安装在所述升降支架(1111)的底部，所述马达(1112)与所述蜗轮(1113)连接，所述蜗杆(1114)与所述底板(114)连接，所述蜗杆(1114)通过所述马达(1112)带动所述蜗轮(1113)转动从而带动所述蜗杆(1114)升降；所述第二升降组件(111)还包括减振组件、定位滑轨(1119)以及定位滑块(1110)，所述定位滑轨(1119)以及所述定位滑块(1110)安装在所述升降支架(1111)上，位于所述蜗杆(1114)的两侧，所述定位滑轨(1119)的两端设置有第一限位器(6)；所述减振组件包括减振板(1115)以及连接板(1116)，所述减振板(1115)安装在所述底板(114)的底部两侧，所述连接板(1116)安装在所述定位滑块(1110)上，所述减振板(1115)与所述连接板(1116)之间配置有减振弹簧(1117)；两个所述连接板(1116)之间还连接有蜗杆固定板(115)，所述蜗杆固定板(115)上设置有固定孔(116)，所述蜗杆(1114)固定在所述蜗杆固定板(115)的所述固定孔(1151)内；所述第二升降组件(111)还包括限位杆(1118)，所述定位滑轨(1119)上设置有定位孔，所述限位杆(1118)插设在所述定位滑轨(1119)的所述定位孔上，位于所述定位滑块(1110)的下方。3.根据权利要求2所述的碳化硅单晶炉，其特征在于：还包括旋转组件(112)，所述旋转组件(112)位于所述底板(114)的底部中心位置上，所述旋转组件包括旋转杆(1121)，所述旋转杆(1121)与所述连接杆(113)连接；所述旋转组件(112)还包括主动齿轮(1122)以及从动齿轮(1123)，所述主动齿轮(1122)以及所述齿轮之间通过皮带(1125)连接，所述从动齿轮(1123)位于所述连接杆(1