预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲,该文档总共11页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108091632A(43)申请公布日2018.05.29(21)申请号201711332222.3C25D3/50(2006.01)(22)申请日2017.12.13(71)申请人汕头市骏码凯撒有限公司地址515065广东省汕头市龙湖区万吉工业区万吉北街6号A座(72)发明人周振基周博轩于锋波彭政展麦宏全(74)专利代理机构汕头市潮睿专利事务有限公司44230代理人林天普俞诗永(51)Int.Cl.H01L23/49(2006.01)H01L21/48(2006.01)C22F1/14(2006.01)C25D3/48(2006.01)权利要求书2页说明书8页(54)发明名称金银合金复合键合丝及其制造方法(57)摘要一种金银合金复合键合丝,其特征在于包括芯线、包覆在芯线外面的钯预镀层以及包覆在钯预镀层外面的金镀层;所述芯线按重量计含有金51-82%,银18-49%;所述钯预镀层的厚度为1-6nm;所述金镀层的厚度为20-200nm。本发明还提供上述金银合金复合键合丝的一种制造方法。本发明的金银合金复合键合丝具有优异的抗氧化性能和抗硫化性能,抗拉强度高,焊点接合性好,且制造成本较低。CN108091632ACN108091632A权利要求书1/2页1.一种金银合金复合键合丝,其特征在于包括芯线、包覆在芯线外面的钯预镀层以及包覆在钯预镀层外面的金镀层;所述芯线按重量计含有金51-82%,银18-49%;所述钯预镀层的厚度为1-6nm;所述金镀层的厚度为20-200nm。2.权利要求1所述的金银合金复合键合丝的制造方法,其特征在于包括下述步骤:(1)熔铸:按比例将金和银混合,经过真空熔炼和定向连续引铸工艺,获得直径为6-8毫米的芯线线材;(2)拉丝:对步骤(1)得到的芯线线材进行拉丝,获得直径为15-40um的芯线;(3)采用电镀工艺在步骤(2)获得的芯线表面上形成钯预镀层,钯预镀层的厚度为1-6nm,得到镀钯线;(4)采用电镀工艺在步骤(3)得到的镀钯线表面上形成金镀层,金镀层的厚度为20-200nm,得到镀钯镀金线;(5)最后退火:步骤(4)电镀完成后,对镀钯镀金线进行最后退火,在退火过程中采用N2来做为退火气氛,退火炉有效长度为600-1000mm,退火温度为300-600℃,退火速率为60-120m/min;(6)冷却:最后退火结束后,将镀钯镀金线冷却至20-30℃,得到所需的金银合金复合键合丝。3.根据权利要求2所述的金银合金复合键合丝的制造方法,其特征是:步骤(2)在拉丝过程中,对线材进行若干次中间退火,在退火过程中采用N2做为退火气氛,退火炉有效长度为600-2000mm,退火温度为500-800℃,退火速率为30-100m/min。4.根据权利要求2或3所述的金银合金复合键合丝的制造方法,其特征在于步骤(3)中的电镀工艺包括下述步骤:(3-1)脱除有机物处理:将步骤(2)获得的芯线浸入温度为70-150℃的丙酮乙醇混合液中,浸入时间为1.4-8秒,脱除芯线表面的有机物;所述丙酮乙醇混合液中丙酮与乙醇的重量比例为1:5-10;(3-2)脱除氧化物处理:将经过脱除有机物处理的芯线浸入温度为70-150℃、重量百分比浓度为30-50%的硝酸中,浸入时间为1.4-8秒,脱除芯线表面的氧化物;(3-3)表面活化处理:将经过脱除氧化物处理的芯线浸入温度为70-150℃、重量百分比浓度为10-30%的硫酸中,浸入时间为1.4-8秒,对芯线进行表面活化处理;(3-4)镀钯:将经过表面活化处理的芯线浸入镀钯液中,在电镀电流为0.2-0.8A的条件下镀钯,在芯线的表面上形成厚度为1-6nm的钯预镀层,该钯预镀层将芯线包覆;(3-5)清洗:以纯水作为清洗液,对包覆有钯预镀层的芯线进行超音波清洗;(3-6)吹干:利用风刀吹去附着在钯预镀层表面上的水;进行电镀时,以5-30m/min的速度连续释放步骤(2)获得的芯线,芯线依次经过上述脱除有机物处理、脱除氧化物处理、表面活化处理、镀钯、清洗和吹干后,得到镀钯线并收线。5.根据权利要求4所述的金银合金复合键合丝的制造方法,其特征在于:步骤(3-4)中,采用的镀钯液是硫酸钯、氯化铵和硫酸铵的混合溶液,其中硫酸钯的浓度为1-4g/L,氯化铵的浓度为1-4g/L,硫酸铵的浓度为1-4g/L。6.根据权利要求4所述的金银合金复合键合丝的制造方法,其特征在于:步骤(3-6)中,风刀气流为N2,其流速为5-20L/min。2CN108091632A权利要求书2/2页7.根据权利要求2或3所述的金银合金复合键合丝的制造方法,其特征在于步骤(4)中的电镀工艺包括下述步骤:(4-1)镀金:将步骤(3)获得的镀钯线浸入浓度为2-4g/L