化合物和含有该化合物的光致抗蚀剂组合物.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN101993395A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN101993395A(43)申请公布日2011.03.30(21)申请号201010249208.9C07C271/36(2006.01)C07C271/24(200601)(22)申请日2010.08.06.C07C269/06(2006.01)(30)优先权数据C07D207/16(2006.01)2009-18690620090811..JPC07D211/60(2006.01)(71)申请人住友化学株式会社C07D209/14(2006.01)地址日本国东京都C07C323/59(2006.01)C07C319/20(200601)(72)发明人增山达郎畑光宏.G03F7/039(2006.01)(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021代理人柳春琦(51)Int.Cl.C07C271/28(2006.01)C07C271/38(2006.01)C07C271/22(2006.01)C07C271/34(2006.01)权利要求书3页说明书85页(54)发明名称化合物和含有该化合物的光致抗蚀剂组合物(57)摘要本发明提供一种由式(C1)表示的化合物和一种包含树脂、酸生成剂和由式(C1)表示的化合物的光致抗蚀剂组合物，在所述式(C1)中，Rc2表示具有至少一个硝基的C6-C10芳族烃基，并且Rc1表示由式(1)表示的基团，在所述式(1)中，Rc4表示氢原子等，Rc5表示C1-C30二价烃基，并且Rc3表示由式(3-1)，(3-2)或(3-3)表示的基团，在所述式(3-1)，(3-2)或(3-3)中，Rc6，Rc7，Rc8，Rc9，Rc10，Rc11，Rc12，Rc13和Rc14各自独立地表示C1-C30烃基。ACN10935CCNN110199339501993398A权利要求书1/3页1.一种由式(C1)表示的化合物：其中Rc2表示具有至少一个硝基的C6-C10芳族烃基，并且所述芳族烃基可以具有除硝基以外的一个或多个取代基，并且Rc1表示由式(1)表示的基团：其中Rc4表示氢原子，或表示直链、支链或环状C1-C6脂族烃基，Rc5表示可以具有选自由卤素原子，羟基，巯基(-SH)，氨基和氨基甲酰基(-CONH2)组成的组中的一个或多个取代基的C1-C30二价烃基，并且所述二价烃基中的一个或多个-CH2-可以被-O-，-CO-，-S-或-NRc15-代替，其中Rc15表示氢原子或表示直链或支链C1-C4烷基，并且所述二价烃基中的一个或多个-CH＝可以被-N＝代替，并且Rc4和Rc5可以彼此结合以与Rc4和Rc5所结合的氮原子一起形成环，并且Rc3表示由式(3-1)，(3-2)或(3-3)表示的基团：其中Rc6，Rc7，Rc8，Rc9，Rc10，Rc11，Rc12，Rc13和Rc14各自独立地表示可以具有一个或多个羟基的C1-C30烃基，并且所述C1-C30烃基中的一个或多个-CH2-可以被-O-，-CO-，-S-或-NRc16-代替，其中Rc16表示氢原子或表示直链或支链C1-C4烷基，并且Rc6和Rc7可以彼此结合以与Rc6和Rc7所结合的碳原子一起形成环，并且Rc9和Rc10可以彼此结合以与Rc9所结合的碳原子和Rc10所结合的氧原子一起形成环。2.根据权利要求1所述的化合物，其中Rc2是硝基苯基。3.根据权利要求1所述的化合物，其中Rc3是由式(3-1)表示的基团。4.根据权利要求1所述的化合物，其中Rc1是由式(1-1)或(1-2)表示的基团：其中Rc3和Rc4具有与权利要求1中的定义相同的含义，Rc17在每次出现时均独立地为可以具有一个或多个羟基的C1-C10烃基，并且所述C1-C10烃基中的一个或多个-CH2-可以被-O-，-CO-，-S-或-NRc19-代替，其中Rc19表示氢原子或表示直链或支链C1-C4烷基，2CCNN110199339501993398A权利要求书2/3页m3表示0至4的整数，并且Lc1表示单键或直链C1-C4烷二基，Rc18表示氢原子，直链、支链或环状C1-C15脂族烃基或C7-C15芳烷基，并且所述脂族烃基和所述芳烷基中的一个或多个-CH2-可以被-O-，-CO-或-S-代替，并且所述脂族烃基和所述芳烷基可以具有选自由卤素原子，羟基，巯基(-SH)，氨基和氨基甲酰基(-CONH2)组成的组中的一个或多个取代基，并且Rc4和Rc18可以彼此结合以与Rc18所结合的碳原子和Rc4所结合的氮原子一起形成环。5.根据权利要求1所述的化合物，其中所述由式(C1)表示的化合物是由式(C1-1)，(C1-2)，(C1-3)或(C1-4)表示的化合物：其中Rc6，Rc7和Rc8具有