微孔加工装置及其加工方法.pdf
代瑶****zy
在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便
相关资料
微孔加工装置及其加工方法.pdf
本发明涉及钻孔加工,提供一种微孔加工装置,包括高速钻机,高速钻机包括若干主轴、若干吸屑罩以及电控系统,各吸屑罩均设有吸尘管道,还包括冷却装置,冷却装置具有若干导液管,各吸屑罩还均设有导液管道,各导液管均沿所述导液管道伸入吸屑罩内,本发明还提供一种微孔加工方法,采用该微孔加工装置,且钻具的转速为15-120Krpmin,进给量为0.01-0.4m/min。本发明在高速钻机上增设冷却装置,其通过导液管将冷却液导入吸屑罩,可以形成对钻具的冷却降温以及润滑效果,大大降低钻具断刀率,而且不至于在工作台形成积液,进一
激光微孔加工方法及激光微孔加工设备.pdf
本发明适用于半导体加工技术领域,公开了一种激光微孔加工方法及激光微孔加工设备。上述加工方法包括以下步骤,设置激光微孔加工设备,于待加工件上设置标记点,将待加工件固定于伺服平台上,然后使成像定位系统对准待加工件,利用成像定位系统识别标记点的方位信息,通过工控电脑确定待加工件上需要进行微孔加工的位置,再进行激光加工。上述加工设备包括载台、激光通孔机、伺服平台、成像定位系统和工控电脑,激光通孔机设置于所述载台上,载台上固定设置有支架,成像定位系统设置于支架上,伺服平台设置于载台上,工控电脑连接于成像定位系统。本
微孔加工方法.doc
微孔加工方法在孔加工过程中,应避免出现孔径扩大、孔直线度过大、工件表面粗糙度差及钻头过快磨损等问题,以防影响钻孔质量与增大加工成本,应尽量保证以下得技术要求:①尺寸精度:孔得直径与深度尺寸得精度;②形状精度:孔得圆度、圆柱度及轴线得直线度;③位置精度:孔与孔轴线或孔与外圆轴线得同轴度;孔与孔或孔与其她表面之间得平行度、垂直度等。同时,还应该考虑以下5个要素:1、孔径、孔深、公差、表面粗糙度、孔得结构;2、工件得结构特点,包括夹持得稳定性、悬伸量与回转性;3、机床得功率、转速冷却液系统与稳定性;4、加工批量
微孔加工方法.doc
微孔加工方法在孔加工过程中,应避免出现孔径扩大、孔直线度过大、工件表面粗糙度差及钻头过快磨损等问题,以防影响钻孔质量与增大加工成本,应尽量保证以下得技术要求:①尺寸精度:孔得直径与深度尺寸得精度;②形状精度:孔得圆度、圆柱度及轴线得直线度;③位置精度:孔与孔轴线或孔与外圆轴线得同轴度;孔与孔或孔与其她表面之间得平行度、垂直度等。同时,还应该考虑以下5个要素:1、孔径、孔深、公差、表面粗糙度、孔得结构;2、工件得结构特点,包括夹持得稳定性、悬伸量与回转性;3、机床得功率、转速冷却液系统与稳定性;4、加工批量
晶圆加工装置及其加工方法.pdf
一种晶圆加工装置及其加工方法,其中,装置包括:固定晶圆的第一吸盘;对所述第一吸盘表面的晶圆进行研磨的第一研磨砂轮,所述第一研磨砂轮包括对晶圆进行研磨的第一研磨面;控制第一研磨砂轮第一研磨面与水平面之间的夹角的运动控制装置;测量晶圆厚度的厚度测量装置。所述晶圆加工装置结构简单,且工作方法简便。