微孔加工方法.doc
是你****馨呀
在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便
相关资料
激光微孔加工方法及激光微孔加工设备.pdf
本发明适用于半导体加工技术领域,公开了一种激光微孔加工方法及激光微孔加工设备。上述加工方法包括以下步骤,设置激光微孔加工设备,于待加工件上设置标记点,将待加工件固定于伺服平台上,然后使成像定位系统对准待加工件,利用成像定位系统识别标记点的方位信息,通过工控电脑确定待加工件上需要进行微孔加工的位置,再进行激光加工。上述加工设备包括载台、激光通孔机、伺服平台、成像定位系统和工控电脑,激光通孔机设置于所述载台上,载台上固定设置有支架,成像定位系统设置于支架上,伺服平台设置于载台上,工控电脑连接于成像定位系统。本
微孔加工方法.doc
微孔加工方法在孔加工过程中,应避免出现孔径扩大、孔直线度过大、工件表面粗糙度差及钻头过快磨损等问题,以防影响钻孔质量与增大加工成本,应尽量保证以下得技术要求:①尺寸精度:孔得直径与深度尺寸得精度;②形状精度:孔得圆度、圆柱度及轴线得直线度;③位置精度:孔与孔轴线或孔与外圆轴线得同轴度;孔与孔或孔与其她表面之间得平行度、垂直度等。同时,还应该考虑以下5个要素:1、孔径、孔深、公差、表面粗糙度、孔得结构;2、工件得结构特点,包括夹持得稳定性、悬伸量与回转性;3、机床得功率、转速冷却液系统与稳定性;4、加工批量
微孔加工方法.doc
微孔加工方法在孔加工过程中,应避免出现孔径扩大、孔直线度过大、工件表面粗糙度差及钻头过快磨损等问题,以防影响钻孔质量与增大加工成本,应尽量保证以下得技术要求:①尺寸精度:孔得直径与深度尺寸得精度;②形状精度:孔得圆度、圆柱度及轴线得直线度;③位置精度:孔与孔轴线或孔与外圆轴线得同轴度;孔与孔或孔与其她表面之间得平行度、垂直度等。同时,还应该考虑以下5个要素:1、孔径、孔深、公差、表面粗糙度、孔得结构;2、工件得结构特点,包括夹持得稳定性、悬伸量与回转性;3、机床得功率、转速冷却液系统与稳定性;4、加工批量
激光微孔加工微孔质量的控制方法研究.pptx
汇报人:目录PARTONEPARTTWO激光微孔加工原理激光微孔加工的特点激光微孔加工的应用领域PARTTHREE激光功率对微孔质量的影响加工速度对微孔质量的影响聚焦光斑直径对微孔质量的影响辅助气体对微孔质量的影响PARTFOUR光学显微镜检测法扫描电子显微镜检测法透射电子显微镜检测法激光衍射检测法PARTFIVE系统硬件组成系统软件设计数据采集与处理控制系统稳定性分析PARTSIX实验设备与实验材料实验过程与实验结果结果分析误差来源与误差分析PARTSEVEN研究结论研究不足与展望THANKYOU
激光微孔加工微孔质量的控制方法研究.pptx
,目录PartOnePartTwo激光微孔加工原理激光微孔加工的特点激光微孔加工的应用领域PartThree激光功率对微孔质量的影响加工速度对微孔质量的影响聚焦光斑直径对微孔质量的影响辅助气体对微孔质量的影响PartFour光学显微镜检测法扫描电子显微镜检测法激光衍射检测法其他检测方法PartFive加工参数优化辅助气体选择与控制加工过程中的实时监测与反馈控制新型加工方法的探索与实践PartSix加强基础研究,深入理解激光与物质相互作用机理提高检测精度和效率,完善检测标准与方法创新加工工艺与方法,突破现有