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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN104254495104254495A(43)申请公布日2014.12.31(21)申请号201380021829.3丰田浩司德留功一吉野贤二(22)申请日2013.04.22小岛稔(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公(30)优先权数据2012-1001682012.04.25JP司720012012-1001742012.04.25JP代理人高旭轶刘力(85)PCT国际申请进入国家阶段日(51)Int.Cl.C01G19/00(2006.01)2014.10.24C01G25/00(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2013/0617292013.04.22(87)PCT国际申请的公布数据WO2013/161735JA2013.10.31(71)申请人东曹精细化工株式会社地址日本山口县周南市(72)发明人竹元裕仁羽贺健一稻叶孝一郎权权利要求书2页利要求书2页说明书31页说明书31页附图1页附图1页(54)发明名称复合氧化物薄膜制造用组合物和使用该组合物的薄膜的制造方法、以及复合氧化物薄膜(57)摘要本发明提供一种可以通过喷雾热分解法等形成能够适用于氧化物半导体膜等的复合氧化物薄膜的组合物以及使用该组合物形成复合氧化物薄膜的方法。本发明涉及一种复合氧化物制造用组合物,其含有选自含锌元素的化合物和含3B族元素的化合物中的至少一种化合物、所述化合物的通过水得到的部分水解物或所述化合物与所述部分水解物,以及选自含4A族元素的化合物和含4B族元素的化合物中的至少一种化合物、所述化合物的通过水得到的部分水解物或所述化合物与所述部分水解物。本发明涉及复合氧化物薄膜的制造方法,该薄膜相对于可见光具有80%以上的平均透射率,所述方法包括在惰性气体气氛下将所述组合物涂布在基板表面上,接着进行至少一次对得到的涂膜加热的操作。CN104254495ACN104259ACN104254495A权利要求书1/2页1.一种复合氧化物制造用组合物,其含有选自锌元素和3B族元素中的至少一种元素,以及选自4A族元素和4B族元素中的至少一种元素,其中,所述组合物含有选自含锌元素的化合物和含3B族元素的化合物中的至少一种化合物、所述化合物的通过水得到的部分水解物或所述化合物与所述部分水解物,以及选自含4A族元素的化合物和含4B族元素的化合物中的至少一种化合物、所述化合物的通过水得到的部分水解物或所述化合物与所述部分水解物。2.如权利要求1所述的组合物,其中,所述含锌元素的化合物是由下述通式(1)表示的有机锌化合物,R1-Zn-R1(1)式中,R1是碳数为1~7的直链或分支的烷基。3.如权利要求2所述的组合物,其中,所述有机锌化合物的通过水得到的部分水解物是将通式(1)表示的有机锌化合物与水以摩尔比为0.05~0.8范围的方式进行混合,至少使所述有机锌化合物部分水解而得到的产物。4.如权利要求1~3中任一项所述的组合物,其中,所述含3B族元素的化合物是由下述通式(2)表示的3B族元素化合物,式中,M为3B族元素,R2、R3、R4独立地为氢、碳数为1~7的直链或分支的烷基,L为含有氮、氧或磷的配位性有机化合物,n为0~9的整数。5.如权利要求4所述的组合物,其中,所述3B族元素化合物的通过水得到的部分水解物是将通式(2)表示的3B族化合物与水以摩尔比为0.05~0.8范围的方式进行混合,至少使所述3B族化合物部分水解而得到的产物。6.如权利要求1~5中任一项所述的组合物,其中,所述含4A族元素的化合物和含4B族元素的化合物是由下述通式(3)或(4)表示的4A族元素化合物和4B族元素化合物,式中,M为4A族元素或4B族元素,R5、R6、R7、R8独立地为氢、碳数为1~7的直链或分支的烷基、碳数为1~7的直链或分支的烷氧基、酰氧基、乙酰丙酮基、酰胺基,L为含有氮、氧或磷的配位性有机化合物,n为0~9的整数,McXd・aH2O(4)式中,M为4A族元素或4B族元素,X为卤原子、硝酸或硫酸,当X为卤原子或硝酸时,c为1,d为3,当X为硫酸时,c为2,d为3,a为0~9的整数。7.如权利要求6所述的组合物,其中,所述4A族元素化合物和4B族元素化合物的通过水得到的部分水解物是将通式(3)或(4)表示的化合物与水以摩尔比为0.05~0.8范围的2CN104254495A权利要求书2/2页方式进行混合,至少使所述4A族元素化合物和4B族元素化合物部分水解而得到的产物。8.如权利要求1~7中任一项所述的组合物,其中,选自所述含4A族元素的化合物和含4B族元素的化合物中的至少一种化合物的通过水得到的部分水解物,以及选自含锌元素的化合物和含3B族元素的化