掺杂或非掺杂的氧化锌薄膜制造用组合物以及使用其的氧化锌薄膜的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102482113A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102482113A(43)申请公布日2012.05.30(21)申请号201080027443.X(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公(22)申请日2010.04.21司72001代理人孙秀武高旭轶(30)优先权数据2009-1025442009.04.21JP(51)Int.Cl.2009-1970522009.08.27JPC01G9/02(2006.01)2010-0309142010.02.16JPH01B13/00(2006.01)(85)PCT申请进入国家阶段日2011.12.20(86)PCT申请的申请数据PCT/JP2010/0570712010.04.21(87)PCT申请的公布数据WO2010/123030JA2010.10.28(71)申请人东曹精细化工株式会社地址日本山口县周南市(72)发明人稻叶孝一郎丰田浩司羽贺健一德留功一权利要求书权利要求书3页3页说明书说明书3131页页附图附图1111页(54)发明名称掺杂或非掺杂的氧化锌薄膜制造用组合物以及使用其的氧化锌薄膜的制造方法(57)摘要本发明提供以有机锌化合物作为原料、没有可燃性、容易处理、通过300℃以下的加热可形成透明的掺杂了IIIB族元素或未掺杂的氧化锌薄膜的氧化锌薄膜制造用组合物，以及使用该组合物的、获得透明的掺杂了IIIB族元素或未掺杂的氧化锌薄膜的方法。本发明的氧化锌薄膜制造用组合物包含如下得到的产物：向有机锌化合物或者有机锌化合物与IIIB族元素化合物的溶液中添加水，使有机锌化合物部分水解，得到产物。含有IIIB族元素化合物时，其相对于有机锌化合物的摩尔比为0.005-0.3。将该组合物涂布于基板表面，加热，形成掺杂了IIIB族元素的氧化锌薄膜。CN102483ACN102482113A权利要求书1/3页1.氧化锌薄膜制造用组合物，其含有如下得到的产物：将下述通式(1)所示的有机锌化合物溶解于供电子性有机溶剂，向所得溶液S1中添加水；或者将下述通式(1)所示的有机锌化合物、和下述通式(2)或下述通式(3)所示的IIIB族元素化合物的至少1种溶解于供电子性有机溶剂，向所得溶液S2中添加水，至少使上述有机锌化合物至少部分水解而得到，R1-Zn-R1(1)式中，R1为碳原子数1-7的直链或支链的烷基，McXdaH2O(2)式中，M为IIIB族元素，X为卤素原子、硝酸或硫酸，X为卤素原子或硝酸时，c为1，d为3，X为硫酸时，c为2，d为3，a为0-9的整数，(3)式中，M为IIIB族元素，R2、R3、R4独立地为氢、碳原子数1-7的直链或支链的烷基、碳原子数1-7的直链或支链的烷氧基、羧酸基、或乙酰丙酮基，并且L为含有氮、氧或磷的配位性有机化合物，n为0-9的整数。2.权利要求1所述的组合物，其中，向上述溶液S1中添加水，使其相对于有机锌化合物的摩尔比在0.6-0.9的范围。3.权利要求2所述的组合物，其中，其含有将由上述有机溶剂中分离的上述产物溶解于与上述供电子性有机溶剂不同的薄膜形成用有机溶剂而得到的溶液。4.权利要求3所述的组合物，其中，上述产物的浓度为3-12%质量的范围。5.权利要求2-4中任一项所述的组合物，其中，上述供电子性有机溶剂为四氢呋喃。6.权利要求3-5中任一项所述的组合物，其中，上述薄膜形成用有机溶剂为1,4-二烷。7.权利要求1所述的组合物，其中，上述溶液S1中，上述IIIB族元素化合物相对于上述有机锌化合物的摩尔比为0.005-0.3的比例，并且所述组合物用于制造掺杂的氧化锌薄膜，R1-Zn-R1(1)式中，R1为碳原子数1-7的直链或支链的烷基。8.权利要求7所述的组合物，其中，上述产物含有上述IIIB族元素化合物的水解物。9.权利要求7或8所述的组合物，其中，上述水的添加量相对于上述有机锌化合物和IIIB族元素化合物的合计量的摩尔比为0.4-0.9的范围。10.掺杂的氧化锌薄膜制造用组合物，其含有如下得到的产物：向上述溶液S2中添加水，向得到的权利要求1-5中任一项所述的组合物中添加通式(2)或通式(3)所示的IIIB族元素化合物的至少1种，使其相对于上述有机锌化合物的摩尔比为0.005-0.3的比例，由此得到产物，McXdaH2O(2)2CN102482113A权利要求书2/3页式中，M为IIIB族元素，X为卤素原子、硝酸或硫酸，X为卤素原子或硝酸时，c为1，d为3，X为硫酸时，c为2，d为3，a为0-9的整数，(3)式中，M为IIIB族元素，R2、R3、R4独立地为氢、碳原子数1-7的直链或支链的烷基、碳原子数1-7的直链或支链的烷氧基、羧酸基、或乙酰丙酮基，并且L为含有氮、氧或磷的配位性