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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105665945A(43)申请公布日2016.06.15(21)申请号201610257837.3(22)申请日2016.04.22(71)申请人大族激光科技产业集团股份有限公司地址518000广东省深圳市南山区深南大道9988号(72)发明人王高芬杨柯乐舟南刘亮曹洪涛吕启涛高云峰(74)专利代理机构深圳市道臻知识产权代理有限公司44360代理人陈琳(51)Int.Cl.B23K26/382(2014.01)B23K26/402(2014.01)权利要求书1页说明书4页附图7页(54)发明名称一种玻璃管激光打孔装置及其打孔方法(57)摘要本发明提供一种玻璃管激光打孔装置及其打孔方法,其包括:升降体、与该升降体连接的激光主梁、与该激光主梁连接的激光器,所述激光主梁包括:主梁前板、固定在该主梁前板上的光套、调光模块、与所述调光模块连接的扩束镜、与该扩束镜连接的三维动态模组、方头、以及安装在该方头内的F-theta镜片,其中,激光器发出的激光光束依序经所述调光模块、所述扩束镜、所述三维动态模组、所述方头至F-theta镜片,由该F-theta镜片聚焦形成螺旋递进焦点对玻璃管进行打孔。本发明解决了微型玻璃管打孔工艺问题,并将其应用到了工业生产,效率高,满足了生产需求;本发明打孔的精度高,稳定性好,保证了产品质量。CN105665945ACN105665945A权利要求书1/1页1.一种玻璃管激光打孔装置,其包括:升降体、与该升降体连接的激光主梁、与该激光主梁连接的激光器,其特征在于:所述激光主梁包括:主梁前板、固定在该主梁前板上的光套、调光模块、与所述调光模块连接的扩束镜、与该扩束镜连接的三维动态模组、方头、以及安装在该方头内的F-theta镜片,其中,激光器发出的激光光束依序经所述调光模块、所述扩束镜、所述三维动态模组、所述方头至F-theta镜片,由该F-theta镜片聚焦形成螺旋递进焦点对玻璃管进行打孔。2.根据权利要求1所述的玻璃管激光打孔装置,其特征在于:所述激光主梁还包括安装所述三维动态模的三维动态安装座、以及压设在所述三维动态模组上的三维动态压板。3.根据权利要求1所述的玻璃管激光打孔装置,其特征在于:所述激光主梁还包括安装方头的方头装配板。4.根据权利要求1所述的玻璃管激光打孔装置,其特征在于:所述激光主梁还包括安装F-theta镜片的镜头转接环、以及对所述F-theta镜片的密封的密封圈。5.根据权利要求1所述的玻璃管激光打孔装置,其特征在于:所述激光主梁还包括对整个激光主梁进行密封的密封罩。6.根据权利要求1-5任一所述的玻璃管激光打孔装置,其特征在于:所述激光主梁还包括承载该激光主梁其他部件的主梁底板。7.根据权利要求1或2所述的玻璃管激光打孔装置,其特征在于:所述三维动态模组设有控制激光光束纵深的音圈电机。8.根据权利要求1所述的玻璃管激光打孔装置,其特征在于:所述方头内设有控制激光光束水平运动的一对振镜电机。9.根据权利要求1所述的玻璃管激光打孔装置,其特征在于:所述调光模块包括:反射镜片上调节座、固定在该反射镜片上调节座上的多个上调节顶丝、反射镜片下调节座、固定在该反射镜片下调节座上的多个下调节顶丝、上反射镜、下反射镜、以及固定在该上反射镜和下反射镜的反射镜装配腔。10.采用权利要求1-9任一所述的玻璃管激光打孔装置的打孔方法,其特征在于,其包括如下步骤:第一步:激光光束发出激光光束,进入激光主梁的调光模块;第二步:调光模块激光光束的方向,并将激光光束进入激光主梁的扩束镜;第三步:扩束镜对激光光束进行直径的扩展和发散角的减小,并将激光光束进入激光主梁的三维动态模组;第四步:三维动态模组的音圈电机控制该激光光束的纵深,并将激光光束进入激光主梁的方头;第五步:方头的一对振镜电机控制该激光光束的水平运动,并将该激光光束进入F-theta镜片;第六步:F-theta镜片对激光光束聚焦形成螺旋递进焦点对玻璃管进行打孔。2CN105665945A说明书1/4页一种玻璃管激光打孔装置及其打孔方法技术领域[0001]本发明属于激光打孔技术领域,尤其涉及一种玻璃管激光打孔装置及其打孔方法。背景技术[0002]随着我国科学技术的快速发展,激光加工技术以其柔韧性和灵活性在非金属加工领域逐步取代了传统加工手段。随着电子行业发展突飞猛进,各种产品朝着精细化、微型化发展,一些元器件的尺寸越来越小,传统的加工工艺难以满足要求。[0003]现在广泛应用的激光加工工艺在一定程度缓解了加工难度,目前应用的主要是在平面内进行加工,如标记、焊接、切割等,在纵深方向均采用机械结构进行焦点调节,但在对一些特殊的应用如玻璃管打孔,当加工的孔径很小且孔很深时,在纵深方向可控精