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一种单晶硅制备中排放氩气的回收方法与装置.pdf
2023-06-11
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猫巷****雪凝
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本发明公开了一种单晶硅制备工艺中排放氩气尾气的净化回收方法，其主要包括以下：1)净化流程；2)再生流程；3)降温流程和4)置换流程。本发明还公开了对应的氩气回收装置及其工艺。该装置包含有：化学链燃烧反应器(7)，换热器(5)，吸附剂反应器(20)，循环水降温装置(16)和(21)，压缩机(2)，循环风机(27)，空气冷干机(14)，氧分析仪(29)，保温套(8)和(8’)，辅助加热装置(6)以及相应的控制阀门。目前的装置具有工艺流程简单，能耗低，氩气回收率高的优点。
2023-06-11
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一种单晶硅制备工艺中排放氩气的净化回收方法与装置，所述方法含有以下几个步骤：将单晶硅炉排放的粗氩气汇集后进行压缩除油处理，采用催化氧化法除去一氧化碳与烷烃，采用加氢除氧法除去氧，采用吸附法除去二氧化碳及水分，采用高低压双塔低温精馏法除去氮与氢，最终得到纯净压缩氩气可直接送回单晶硅炉重新利用；所述的装置包括：对单晶硅炉排放的粗氩气进行粗油过滤的粗氩气收集预处理系统，进行精密油过滤的压缩除油系统，除去一氧化碳、烷烃与氧组分的催化反应系统，除去二氧化碳和水分的粗氩气纯化系统，除去氮和氢组分的低温精馏系统，为低温
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一种氩气回收装置中的两级催化‑吸附系统及氩气回收方法，所述系统包括：第一级催化系统、第一级吸附系统、第二级催化系统和第二级吸附系统，所述的第一级催化系统、第一级吸附系统、第二级催化系统和第二级吸附系统形成串联结构，其中：第一级催化系统包括空气管道、第一回热器、第一加热器、第一催化炉，第一催化炉R1内装填有能催化一氧化碳和烃类同氧气反应的催化剂。
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