显示面板的绑定区结构及其制作方法、显示面板.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108258026A(43)申请公布日2018.07.06(21)申请号201810143369.6(22)申请日2018.02.11(71)申请人武汉华星光电半导体显示技术有限公司地址430070湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室(72)发明人李鹏(74)专利代理机构深圳市德力知识产权代理事务所44265代理人林才桂(51)Int.Cl.H01L27/32(2006.01)H01L51/56(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图9页(54)发明名称显示面板的绑定区结构及其制作方法、显示面板(57)摘要本发明提供一种显示面板的绑定区结构及其制作方法、显示面板。本发明的显示面板的绑定区结构包括基板、导体层以及第一绝缘层，基板上设有间隔设置的多个绑定接触区、间隔区以及周边绝缘区，导体层包括分别与多个绑定接触区对应的多个绑定接触图案，第一绝缘层对应多个绑定接触区设有多个开口，第一绝缘层对应间隔区的部分的厚度小于对应周边绝缘区的部分的厚度，以使第一绝缘层对应间隔区的部分的支撑力降低，从而在将COF与所述显示面板的绑定区结构绑定后，增大绑定接触图案与COF的接触面积，有助于显示面板向高分辨率方向发展，提升显示面板的产品品质。CN108258026ACN108258026A权利要求书1/2页1.一种显示面板的绑定区结构，其特征在于，包括基板(100)、设于基板(100)上方的导体层(200)以及设于导体层(200)及基板(100)上方的第一绝缘层(300)；所述基板(100)上设有间隔设置的多个绑定接触区(110)、设于相邻的绑定接触区(110)之间的间隔区(120)以及设于多个绑定接触区(110)与间隔区(120)所在区域外侧的周边绝缘区(130)；所述导体层(200)包括多个间隔的绑定接触图案(210)，所述多个绑定接触图案(210)分别与多个绑定接触区(110)对应；所述第一绝缘层(300)对应多个绑定接触区(110)设有多个开口(310)，所述第一绝缘层(300)对应间隔区(120)的部分的厚度小于对应周边绝缘区(130)的部分的厚度。2.如权利要求1所述的显示面板的绑定区结构，其特征在于，还包括设于基板(100)上的第二绝缘层(400)，所述导体层(200)设于第二绝缘层(400)上，所述第一绝缘层(300)设于导体层(200)及第二绝缘层(400)上。3.如权利要求2所述的显示面板的绑定区结构，其特征在于，所述基板(100)为玻璃基板或玻璃基板与聚酰亚胺层的层叠结构；所述第二绝缘层(400)的材料为氮化硅或氧化硅；所述导体层(200)为钼层、两层钼层夹一层铝层、两层钛层夹一层铝层或两层氧化铟锡层夹一层银层；所述第一绝缘层(300)的材料为光阻。4.一种显示面板的绑定区结构的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1、提供一基板(100)；所述基板(100)上设有间隔设置的多个绑定接触区(110)、设于相邻的绑定接触区(110)之间的间隔区(120)以及设于多个绑定接触区(110)与间隔区(120)所在区域外侧的周边绝缘区(130)；步骤S2、在所述基板(100)上形成第二绝缘层(400)；步骤S3、在第二绝缘层(400)上形成导体材料并进行图案化，得到导体层(200)；所述导体层(200)包括多个间隔的绑定接触图案(210)，所述多个绑定接触图案(210)分别与多个绑定接触区(110)对应；步骤S4、提供一掩膜板(900)；在所述导体层(200)及第二绝缘层(400)上涂布光阻层(301)，利用所述掩膜板(900)对所述光阻层(301)进行曝光及显影，形成第一绝缘层(300)；所述第一绝缘层(300)对应多个绑定接触区(110)设有多个开口(310)，所述第一绝缘层(300)对应间隔区(120)的部分的厚度小于对应周边绝缘区(130)的部分的厚度。5.如权利要求4所述的显示面板的绑定区结构的制作方法，其特征在于，所述步骤S2中，利用化学气相沉积的方式在所述基板(100)上形成第二绝缘层(400)；所述步骤S3中，利用物理气相沉积的方式在第二绝缘层(400)上形成导体材料。6.如权利要求4所述的显示面板的绑定区结构的制作方法，其特征在于，所述光阻层(301)的材料为正性光阻；所述掩膜板(900)包括：多个间隔的全透光区(910)、设于相邻的全透光区(910)之间的半透光区(920)以及设于全透光区(910)与半透光区(920)所在区域外侧的遮光区(930)。7.如权利要求6所述的显示面板的绑定区结构的制作方法，其特征在于，所述半透光区2CN108258026A权利要求书2/2页(920)包括多个全透光子区