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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115772655A(43)申请公布日2023.03.10(21)申请号202211315771.0(22)申请日2022.10.26(71)申请人卢成地址610000四川省成都市温江区柳城新华6组(72)发明人卢成王伟张勇军(74)专利代理机构成都其高专利代理事务所(特殊普通合伙)51244专利代理师贾波(51)Int.Cl.C23C14/56(2006.01)C23C14/54(2006.01)F25D17/02(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图1页(54)发明名称一种镀膜设备及工艺(57)摘要本发明公开了一种镀膜设备及工艺,真空镀膜机设置有水箱水塔A、水箱水塔B、控制器、镀膜机、冷却水机组、纯水主机,以及多个电磁阀、水泵,多根管道,其能够构建两级供水体系,并利用“循环+冷冻”的模式对镀膜机进行水冷,且在进行控制时,基于联动的控制模式,使得水冷效果能够一直保持最优状态,并在不浪费水源的情况下,保障水冷效果;所述镀膜机(1)的冷却水管道入口连接冷却水机组出口侧,镀膜机(1)的冷却水管道出口连接供水系统,在镀膜机(1)上冷却水管道出口处设置有温度传感器(18),所述冷却水机组入口侧连接供水系统,控制器(12)分别连接冷却水机组、镀膜机(1)、供水系统及温度传感器(18)。CN115772655ACN115772655A权利要求书1/2页1.一种镀膜设备,其特征在于:包括镀膜机(1)、冷却水机组、供水系统及控制器(12),所述镀膜机(1)的冷却水管道入口连接冷却水机组出口侧,镀膜机(1)的冷却水管道出口连接供水系统,在镀膜机(1)上冷却水管道出口处设置有温度传感器(18),所述冷却水机组入口侧连接供水系统,控制器(12)分别连接冷却水机组、镀膜机(1)、供水系统及温度传感器(18)。2.根据权利要求1所述的一种镀膜设备,其特征在于:所述供水系统包括电磁阀A(7)、水泵A(8)、电磁阀B(9)、水塔A(10)、水位传感器A(11)、水位传感器B(13)、水塔B(14)、纯水主机(15)、电磁阀C(16)、水泵B(17)及多个管道,所述镀膜机(1)的冷却水管道出口通过设置有电磁阀B(9)的管道接入水塔A(10)的循环水回水口,所述水塔A(10)的循环水出口通过设置有水泵A(8)和电磁阀A(7)的管道连接冷却水机组入口侧;所述水塔A(10)的循环水入口通过设置有水泵B(17)和电磁阀C(16)的管道连接在水塔B(14)的循环水出口上,水位传感器A(11)设置在水塔A(10)上,水位传感器B(13)设置在水塔B(14)上,所述纯水主机(15)通过管道连接在水塔B(14)的进水口上;控制器(12)分别连接电磁阀A(7)、水泵A(8)、电磁阀B(9)、水位传感器A(11)、水位传感器B(13)、纯水主机(15)、电磁阀C(16)及水泵B(17)。3.根据权利要求2所述的一种镀膜设备,其特征在于:在所述水塔A(10)上,循环水回水口位置高度>循环水入口位置高度>循环水出口位置高度,且循环水出口设置在水塔A(10)的底部。4.根据权利要求2或3所述的一种镀膜设备,其特征在于:在所述水塔B(14)上,进水口的位置高度>循环水出口位置高度,且循环水出口位于底部上方。5.根据权利要求2或3所述的一种镀膜设备,其特征在于:在设置所述电磁阀A(7)和水泵A(8)的管道上,水泵A(8)近水塔A(10)侧设置;在设置所述电磁阀C(16)和水泵B(17)的管道上,电磁阀C(16)近水塔B(14)侧设置。6.根据权利要求1或2或3所述的一种镀膜设备,其特征在于:所述电磁阀A(7)、电磁阀B(9)、电磁阀C(16)皆采用流量调节阀。7.根据权利要求1或2或3所述的一种镀膜设备,其特征在于:所述冷却水机组包括蒸发器(3)及设置在冷凝侧的膨胀阀(4)、冷凝器(5)、压缩机(6),水塔A(10)的循环水出口与冷却水机组入口侧相连的管道端口接入蒸发器(3)的冷冻水入口,镀膜机(1)的冷却水管道入口与冷却水机组(26)出口侧相连的管道端口接入蒸发器(3)的冷冻水出口。8.一种镀膜制冷工艺,基于如权利要求1~7任一项所述的一种镀膜设备实现,其特征在于:包括下述步骤:1)控制器(12)启动纯水主机(15)为水塔B(14)供水,直至能够为水塔A(10)供水的最低量,而后打开电磁阀C(16),启动水泵B(17);2)水泵B(17)将水塔B(14)内的纯水从循环水出口泵入到水塔A(10)内直至符合进行水冷的水量后关闭水泵B(17),纯水主机(15)为水塔B(14)供水至最高限水位后停止为水塔B(14)供水;3)开机启动镀膜机(1)工作,打开电磁阀A(7)、电磁阀B(9),关闭电磁阀C(16);4)控制器(12