厚度测量装置及厚度测量方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107037437A(43)申请公布日2017.08.11(21)申请号201710058139.5(22)申请日2017.01.23(30)优先权数据2016-0121522016.01.26JP(71)申请人大塚电子株式会社地址日本大阪府(72)发明人丰田一贵泽村义巳(74)专利代理机构隆天知识产权代理有限公司72003代理人崔炳哲(51)Int.Cl.G01S17/08(2006.01)G01S7/481(2006.01)权利要求书2页说明书12页附图5页(54)发明名称厚度测量装置及厚度测量方法(57)摘要本发明提供一种能够准确地测量试样厚度的厚度测量装置及厚度测量方法。厚度测量装置具有：第一透光构件，其具有第一参照面；第二透光构件，其与第一透光构件相向设置，具有第二参照面；第一投光部，其经由第一参照面向设置在第一透光构件和第二透光构件之间的试样照射来自光源的光；第一受光部，其接收来自第一参照面的反射光，并且经由第一参照面接收来自试样的反射光；第二投光部，其经由第二参照面向试样照射来自光源的光；第二受光部，其接收来自第二参照面的反射光，并且经由第二参照面接收来自受光试样的反射光；分光部，其对由第一受光部接收的反射光和由第二受光部接收的反射光进行分光。CN107037437ACN107037437A权利要求书1/2页1.一种厚度测量装置，其中，具有：第一透光构件，具有第一参照面；第二透光构件，与所述第一透光构件相向设置，具有第二参照面；第一投光部，经由所述第一参照面向设置在所述第一透光构件和所述第二透光构件之间的试样照射来自光源的光；第一受光部，接收来自所述第一参照面的反射光，并且经由所述第一参照面接收来自所述试样的反射光；第二投光部，经由所述第二参照面向所述试样照射来自光源的光；第二受光部，接收来自所述第二参照面的反射光，并且经由所述第二参照面接收来自所述试样的反射光；分光部，对由所述第一受光部接收的反射光和由所述第二受光部接收的反射光进行分光。2.根据权利要求1所述的厚度测量装置，其中，所述分光部包括一个分光器，所述厚度测量装置进一步具有光学系统，所述光学系统用于将由所述第一受光部接收的光和由所述第二受光部接收的光向所述分光器引导。3.根据权利要求1或2所述的厚度测量装置，其中，从所述第一投光部经由所述第一参照面向所述试样照射的光的光束的轴、从所述第二投光部经由所述第二参照面向所述试样照射的光的光束的轴、所述第一受光部所接收的来自所述第一参照面的反射光的光束的轴和来自所述试样的反射光的光束的轴、所述第二受光部所接收的来自所述第二参照面的反射光的光束的轴和来自所述试样的反射光的光束的轴彼此顺沿[m1]。4.根据权利要求1至3中任一项所述的厚度测量装置，其中，所述分光部包括一个分光器，所述厚度测量装置进一步具有光学系统，所述光学系统将由所述第一受光部接收的光和由所述第二受光部接收的光向所述分光器引导，设定成，从所述试样经由所述第一参照面、所述第一受光部以及所述光学系统而传播至所述分光器的反射光的路径的光学距离、和从所述试样经由所述第二参照面、所述第二受光部以及所述光学系统而传播至所述分光器的反射光的路径的光学距离相同。5.根据权利要求1至4中任一项所述的厚度测量装置，其中，所述厚度测量装置进一步具有运算部，所述运算部基于所述分光部的分光结果，计算所述第一参照面和所述试样之间的距离、即第一距离以及所述第二参照面和所述试样之间的距离、即第二距离，所述运算部通过从所述第一参照面和所述第二参照面之间的距离减去所述第一距离和所述第二距离来计算所述试样的厚度。6.一种厚度测量方法，其为使用厚度测量装置测量厚度的方法，所述厚度测量装置包括：第一透光构件，具有第一参照面，第二透光构件，与所述第一透光构件相向设置，具有第二参照面，2CN107037437A权利要求书2/2页第一投光部，经由所述第一参照面向设置在所述第一透光构件和所述第二透光构件之间的试样照射来自光源的光，第一受光部，接收来自所述第一参照面的反射光，并且经由所述第一参照面接收来自所述试样的反射光，第二投光部，经由所述第二参照面向所述试样照射来自光源的光，第二受光部，接收来自所述第二参照面的反射光，并且经由所述第二参照面接收来自所述试样的反射光，分光部，对由所述第一受光部接收的反射光和由所述第二受光部接收的反射光进行分光；所述厚度测量方法包括：基于所述分光部的分光结果，计算所述第一参照面和所述试样之间的距离、即第一距离以及所述第二参照面和所述试样之间的距离、即第二距离的步骤，从所述第一参照面和所述第二参照面之间的距离、即表面间距离减去所述第一距离和所述第二距离而计算所述试样的厚度的步骤。7.根据权利