厚度测量系统以及厚度测量方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103890540103890540A(43)申请公布日2014.06.25(21)申请号201280052459.5(74)专利代理机构中国国际贸易促进委员会专(22)申请日2012.12.25利商标事务所11038代理人黄永杰(30)优先权数据2011-2870102011.12.27JP(51)Int.Cl.G01B11/06(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2014.04.25(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2012/0834822012.12.25(87)PCT国际申请的公布数据WO2013/099870JA2013.07.04(71)申请人株式会社东芝地址日本东京都(72)发明人古田哲夫石冢照雄权权利要求书2页利要求书2页说明书6页说明书6页附图3页附图3页(54)发明名称厚度测量系统以及厚度测量方法(57)摘要本发明提供一种厚度测量系统及厚度测量方法，将以厚度测定装置的一对激光距离计的支撑点之间的距离因温度变化而变动为起因的测定误差的影响除去，且不需要用于安全管理的特别措施，能够连续地进行测定。厚度测定装置(1、2)以预定的间隔(Ld)设定，在第1厚度测定装置(1)通过厚度基准板(5c)执行厚度校正处理，放置在移动方向的下游侧的第2测定装置(2)执行测定处理中，动作模式设定部(3)在第1厚度测定装置(1)设定“测定”，再有，向第2厚度测定装置(2)指令“厚度修正”处理开始，使第1厚度测定值(1)在移动方向上延迟到与间隔对应的位置，将第1厚度测定值(1)和自身的第2厚度测定值(2)之差作为修正值求出，不将第2厚度测定装置(2)的测定中断地执行厚度修正。CN103890540ACN1038954ACN103890540A权利要求书1/2页1.一种厚度测量系统，其将被运送的板作为被测定物，连续地测量其厚度，其特征在于，具备：被配置在上游侧的第1厚度测定装置以及被配置在下游侧的第2厚度测定装置，其分别通过激光测定前述被测定物的厚度，各自的测定位置相对于前述被测定物的移动方向离开预定的距离；动作模式设定部，其周期性地切换设定“校正”模式、“测定”模式作为前述第1厚度测定装置的动作模式，与之同步地切换设定“测定”模式、“测定值修正”模式作为前述第2厚度测定装置的动作模式；位置设定构件，其将前述第1厚度测定装置的位置设定在与前述动作模式相应地测定前述被测定物的测定位置、和测定被配置在与前述被测定物不同的位置上的基准物并对测定结果进行校正的校正位置；速度检测器，其检测前述被测定物的移动速度；和厚度运算构件，其从前述第1以及第2厚度测定装置的测定结果以及前述速度检测器的检测结果以一定间隔运算输出前述被测定物的厚度，前述厚度运算构件在前述第1厚度测定装置为“校正”模式时，选择输出处于“测定”模式的前述第2厚度测定装置的测定结果，在前述第1厚度测定装置为“测定”模式时，根据由前述速度检测器得到的检测速度和前述第1以及第2厚度测定装置的离开距离，使前述上游侧的前述第1厚度测定装置的校正完成后的测定结果延迟，据此，使前述第1厚度测定装置的测定位置和前述下游侧的前述第2厚度测定装置的测定位置一致，将两者的测定结果之差作为修正值求出，根据该修正值，对由处于前述“测定值修正”模式的前述第2厚度测定装置产生的厚度测定结果进行修正。2.如权利要求1所述的厚度测量系统，其特征在于，前述第1以及第2厚度测定装置彼此为相同结构，分别具备：具有被配置在前述被测定物的上下的臂部的C型框架、在上下的前述臂部相向地配置的一对激光距离计、根据前述激光距离计的距离输出求出前述被测定物的厚度的厚度测定部、和根据在前述动作模式设定部设定的动作模式将前述C型框架设定在预先决定的测定位置以及校正位置的位置设定部。3.一种厚度测量方法，将被运送的板作为被测定物，连续地测量其厚度，其特征在于，分别将通过激光测定前述被测定物的厚度的第1以及第2厚度测定装置配置在上游侧和下游侧，以便使各自的测定位置相对于前述被测定物的移动方向离开预定的距离，周期性地切换设定“校正”模式、“测定”模式作为前述第1厚度测定装置的动作模式，与之同步地切换设定“测定”模式、“测定值修正”模式作为前述第2厚度测定装置的动作模式，将前述第1厚度测定装置的位置设定在与前述动作模式相应地测定前述被测定物的测定位置、和测定被配置在与前述被测定物不同的位置的基准物并对测定结果进行校正的校正位置，检测前述被测定物的移动速度，从前述第1以及第2厚度测定装置的测定结果以及前述速度检测器的检测结果以一定间隔运算输出前述被测定物的厚度，前述厚度运算在前述第1厚度测定装置为“校正”模式时，选择输出处