用于厚样本的EPI照明傅立叶重叠关联成像.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107111118A(43)申请公布日2017.08.29(21)申请号201580067354.0(74)专利代理机构北京安信方达知识产权代理有限公司1(22)申请日2015.12.221262代理人陆建萍郑霞(30)优先权数据62/095,6482014.12.22US(51)Int.Cl.G02B21/00(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日G02B21/08(2006.01)2017.06.09G02B21/36(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/US2015/0674982015.12.22(87)PCT国际申请的公布数据WO2016/106379EN2016.06.30(71)申请人加州理工学院地址美国加利福尼亚州(72)发明人罗克·W·霍斯特迈耶杨昌辉权利要求书3页说明书33页附图15页(54)发明名称用于厚样本的EPI照明傅立叶重叠关联成像(57)摘要某些方面涉及用于对厚样本高分辨率成像的epi-照明傅立叶重叠关联成像系统和方法。本文公开的示例系统包括：可变照明源，其被配置为以多个入射角依次提供辐射；第一偏振器系统，其被配置为将来自可变照明源的辐射偏振到入射在样本上的第一偏振状态；集光器件，其被配置为接收从样本发出的辐射；第二偏振器系统，其被配置为接收通过集光器件传递的辐射；辐射检测器，其被配置为接收来自第二偏振器系统的辐射；以及处理器，其被配置为根据第一强度图像序列和第二强度图像序列来确定去散射的表面强度图像序列。CN107111118ACN107111118A权利要求书1/3页1.一种用于对厚样本高分辨率成像的epi-照明傅立叶重叠关联成像系统，所述系统包括：可变照明源，所述可变照明源被配置为以多个入射角依次提供辐射；第一偏振器系统，所述第一偏振器系统被配置为将来自所述可变照明源的辐射偏振到入射在样本上的第一偏振状态；集光器件，所述集光器件被配置为接收从所述样本发出的辐射，其中，所述集光器件位于所述样本的所述可变照明源从其提供辐射的同一侧；第二偏振器系统，所述第二偏振器系统被配置为接收通过所述集光器件传递的辐射，并且其中，所述第二偏振器系统具有(A)处于第一取向的第一偏振器和处于与所述第一取向正交的第二取向的第二偏振器，或者(B)在所述第一取向和所述第二取向之间旋转的偏振器，所述第二取向与所述第一取向正交；辐射检测器，所述辐射检测器被配置为接收来自所述第二偏振器系统的辐射，所述辐射检测器被配置为获取所述样本的通过所述第一偏振器的第一强度图像序列并获取所述样本的通过所述第二偏振器的第二强度图像序列，其中，每个强度图像对应于所述多个入射角中的不同入射角；以及处理器，所述处理器被配置为根据所述第一强度图像序列和所述第二强度图像序列来确定去散射的表面强度图像序列。2.如权利要求1所述的系统，其中，所述处理器还被配置为通过确定所述第一序列中的每个强度图像与所述第二序列中的每个对应的强度图像之间的差来确定所述去散射的表面强度图像序列。3.如权利要求1所述的系统，其中，所述处理器还被配置为通过在傅立叶空间中迭代地组合所述去散射的表面强度图像序列来构建所述样本的更高分辨率图像。4.如权利要求3所述的系统，其中，所述处理器使用傅立叶重叠关联重建处理来构建所述样本的所述更高分辨率图像。5.如权利要求1所述的系统，其中，所述第一偏振器系统是设置在所述可变照明源上的偏振膜。6.如权利要求1所述的系统，其中，从所述样本发出的所述辐射是衍射辐射。7.如权利要求1所述的系统，其中，来自所述可变照明源的所述辐射是可见光、红外光、微波辐射、声辐射和x射线辐射中的一种。8.如权利要求1所述的系统，其中，所述第一取向中的所述第一偏振器传递处于所述第一偏振状态的辐射，并且所述第二取向中的所述第二偏振器传递处于所述第二偏振状态的辐射。9.如权利要求8所述的系统，其中，所述第一偏振器包括多个第一偏振器元件，并且所述第一偏振器包括多个第一偏振器元件，以及其中，所述第二偏振器系统包括交错的第一偏振器元件和第二偏振器元件的图案。10.如权利要求9所述的系统，其中，所述第二偏振器系统是设置在所述辐射检测器上的偏振膜。11.如权利要求10所述的系统，其中，所述图案是棋盘图案。2CN107111118A权利要求书2/3页12.一种用于对厚样本高分辨率成像的epi-照明傅立叶重叠关联成像系统，所述系统包括：照明源，所述照明源被配置为提供入射到所述样本上的第一偏振状态的辐射；第一光学元件，所述第一光学元件被配置为接收来自所述样本的辐射，其中，所述第一光学元件位于所述样本的所述照明源从其提供辐射的同一侧；第二光学元件；孔径扫描仪，所述孔径扫描仪被配置为