用于EPI腔室的上圆顶.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106796867A(43)申请公布日2017.05.31(21)申请号201580045879.4(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司1(22)申请日2015.08.141006代理人徐金国赵静(30)优先权数据62/046,4142014.09.05US(51)Int.Cl.H01L21/02(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日H01L21/67(2006.01)2017.02.24H01L21/20(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/US2015/0453682015.08.14(87)PCT国际申请的公布数据WO2016/036497EN2016.03.10(71)申请人应用材料公司地址美国加利福尼亚州(72)发明人刘树坤穆罕默德·图格鲁利·萨米尔常安忠权利要求书2页说明书6页附图3页(54)发明名称用于EPI腔室的上圆顶(57)摘要本文描述的实施方式关于圆顶组件。圆顶组件包括上圆顶与上周边凸缘，所述上圆顶包含凸形弧中央窗，所述上周边凸缘在所述中央窗的周缘处啮合所述中央窗。CN106796867ACN106796867A权利要求书1/2页1.一种上圆顶，包括：凸形中央窗部分，所述凸形中央窗部分具有：宽度；高度；和窗口曲率，所述窗口曲率由至少10:1的所述宽度与所述高度的所述比例所界定；和周边凸缘，所述周边凸缘具有：平坦上表面；平坦下表面；和倾斜凸缘表面，所述周边凸缘在所述中央窗部分的周缘处啮合所述中央窗部分，所述倾斜凸缘表面具有第一表面，所述第一表面带有从所述平坦上表面测量的小于35度的第一角度。2.如权利要求1所述的上圆顶，其中所述倾斜凸缘表面进一步包括第二表面，所述第二表面形成于所述中央窗部分的所述周缘与所述第一表面之间，所述第二表面具有第二角度。3.如权利要求2所述的上圆顶，其中所述切线表面具有端表面，所述切线表面的所述端表面具有与所述第二表面的端表面的流体过渡，以及其中所述第二表面具有端表面，所述第二表面的所述端表面具有与所述第一表面的端表面的流体过渡。4.如权利要求3所述的上圆顶，其中所述支撑角度小于所述第二角度，且所述第二角度小于所述第一角度。5.如权利要求1所述的上圆顶，其中所述窗口曲率进一步由至少10:1的曲率半径与所述宽度的所述比例所界定。6.如权利要求5所述的上圆顶，其中所述曲率半径与所述宽度的所述比例大于50:1。7.如权利要求2所述的上圆顶，其中所述第一角度的所述大小与所述第二角度的所述大小的所述比例为大约3:1。8.一种用于热处理腔室中的圆顶组件，包括：上圆顶，包含：水平表面；中央窗部分，所述中央窗部分具有高度、宽度和窗口曲率，所述窗口曲率由至少10:1的所述宽度与所述高度的所述比例所界定；和周边凸缘，所述周边凸缘具有倾斜凸缘表面，所述周边凸缘在所述中央窗部分的周缘处啮合所述中央窗部分，所述倾斜凸缘表面在第一角度处具有第一表面，所述第一角度为从所述水平表面测量的小于35度的角度；和下圆顶，所述下圆顶与所述上圆顶相对，所述下圆顶与所述上圆顶界定出内部区域。9.如权利要求8所述的圆顶组件，其中所述倾斜凸缘表面进一步包括介于所述中央窗部分的所述周缘与所述第一表面之间的第二表面，所述第二表面具有第二角度。10.如权利要求9所述的圆顶组件，其中所述中央窗部分具有形成切线表面的周缘，所述切线表面具有支撑角度，所述支撑角度小于10度。11.如权利要求10所述的圆顶组件，其中所述切线表面具有端点，所述切线表面的所述端点与所述第二表面的端点共线，以及其中所述第二表面具有端点，所述第二表面的所述2CN106796867A权利要求书2/2页端点与所述第一表面的端点共线。12.如权利要求8所述的圆顶组件，其中所述周边凸缘具有小于50mm的厚度。13.如权利要求8所述的圆顶组件，其中所述曲率半径与所述宽度的所述比例介于约50:1至约100:1之间。14.如权利要求9所述的圆顶组件，其中所述第一角度的所述大小与所述第二角度的所述大小的比例为约3:1。15.一种上圆顶，包括：水平平面；中央窗部分，所述中央窗部分具有：窗口曲率，所述窗口曲率由至少50:1的所述宽度与所述高度的所述比例所界定；和平面边界，所述平面边界在所述周缘处；和周边凸缘，所述周边凸缘具有：平坦水平上表面；平坦水平下表面；和倾斜凸缘表面，所述倾斜凸缘表面带有第一表面，所述第一表面带有从所述平坦水平上表面测量的小于35度的第一角度；和第二表面，所述第二表面介于所述中央窗部分的周缘与所述第一表面之间，所述第二表面具有从所述平坦水平上表面测量的小于15度的第二角度，其中所述周边凸缘在所述中央窗部分的周缘处啮合所述中央窗部分。3CN1