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一种银合金靶材制备工艺及应用.pdf
2023-06-07
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一种银合金靶材制备工艺及应用.pdf
本发明涉及一种银合金靶材制备工艺及应用,其中,制备工艺包括:根据预成型成品的尺寸选取对应规格的AgIn合金锭作为制备原材备用;将制备原材于450?600℃的温度条件下预热1?2h至其呈半熔融状态,作为挤压原材备用;将挤压原材注入挤压成型设备中,通过预装的成型模具将挤压原材挤压成板材加工体;待板材加工体冷却至常温后,于搅拌摩擦焊机上按照预置的加工参数及运行路径对板材加工体进行搅拌摩擦焊处理,得到靶材半成品;根据预成型成品的加工参数对所述靶材半成品进行机加工以最终得到银合金靶材成品。通过上述制备工艺加工的银合
2023-06-07
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本发明涉及一种银合金靶材制备工艺及应用,其中,制备工艺包括:根据预成型成品的尺寸选取对应规格的AgIn合金锭作为制备原材备用;将制备原材于450?600℃的温度条件下预热1?2h至其呈半熔融状态,作为挤压原材备用;将挤压原材注入挤压成型设备中,通过预装的成型模具将挤压原材挤压成板材加工体;待板材加工体冷却至常温后,于搅拌摩擦焊机上按照预置的加工参数及运行路径对板材加工体进行搅拌摩擦焊处理,得到靶材半成品;根据预成型成品的加工参数对所述靶材半成品进行机加工以最终得到银合金靶材成品。通过上述制备工艺加工的银合
2023-06-07
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一种铜银合金靶材的制备方法.pdf
本发明属于溅射靶材技术领域，公开了一种铜银合金溅射靶材的制备方法。该方法主要包括：按重量百分比为银含量0.001‑1.0％；铜含量99.999‑99％配料，采用真空感应熔炼技术制备铜银合金铸锭，将铜银合金铸锭坯料在高温下进行镦粗拔长的塑性变形。经过多轮次的镦粗拔长变形后，将靶材坯料冷却。对冷却后的铜银靶材坯料进行压延变形制备成铜银合金靶坯。然后对靶坯进行热处理，得到组织细小均匀的铜银合金靶材。本发明方法制备的靶材晶粒细小，分布均匀，完全满足溅射的需求。同时通过采用可控性的塑性加工设备使得加工工艺的一致性、
2023-09-01
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本发明属于粉末冶金技术领域,具体提供一种钼合金靶材及其制备方法和应用。所述钼合金靶材的制备方法包括如下步骤:配制原料:按照所述靶材各元素质量配比称取原料混合,以质量百分数计,所述靶材包括如下成分,Ni:10%～30%,Ti:5%～25%,W:1%～20%和Re:0.5%～5%,余量为Mo和不可避免的杂质,且Mo的质量百分比≥50%;冷等静压;热等静压;热轧;退火。本申请方法制备的靶材塑韧性好,变形能力好,晶粒细小均匀。用本申请制备的靶材溅射沉积的薄膜厚度分布更均匀,可通过溅射方式附着在电子部件用层叠配线膜
2023-05-18
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一种铝钪合金靶材的制备工艺.pdf
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2023-06-15
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