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特别是在微光刻投射曝光设备中的组件.pdf

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本发明关于组件,特别是在微光刻投射曝光设备中。根据一个方面,该组件包括光学元件(120)以及接头配置,所述接头配置用于机械承载该光学元件(120),其中该接头配置包括固定在该光学元件(120)上的至少一个连接元件(110、210、310、410、510),并且其中该连接元件(110、310、410)的质量(mpin)分布在其长度(L)上,如此与质量和长度相同的连接元件相比,该连接元件的转动惯量(I)增加,其中质量均匀分布在长度上。