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本实用新型涉及一种低氧含量聚碳硅烷不熔化纤维的工业化生产设备,包括:炉体(1),与炉体相连的风扇装置(2)、供气装置(3)、抽真空装置(4)、活性物质供应装置(5)和尾气收集装置(6)。本实用新型中的风扇装置和供气装置共同提供气相交联反应所需均匀温度场,活性物质供应装置(4)实现活性物质的计量供应,供气装置(3)还提供惰性气氛环境,尾气收集装置(5)用于未反应活性物质和副产物冷凝收集等,综合提供采用化学气相交联方法对聚碳硅烷纤维进行批量不熔化处理的条件。本实用新型设备可以提高批量生产中纤维不熔化程度的均匀性,避免局部熔并,所得不熔化纤维氧含量小于1wt%,降低产业化生产高性能SiC纤维的成本。