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一种硫氧锌靶材及其制备方法.pdf
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波峻****99
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本发明公开了一种硫氧锌靶材及其制备方法,属于半导体光电子材料技术领域。本发明的硫氧锌靶材的制备方法包括以下步骤:(1)称取氧化锌粉和硫化锌粉,进行均质,得混合粉体;(2)将步骤(1)的混合粉体装入石墨模具中;(3)上炉后先对粉体进行25T的预压,预压完成后对炉体抽真空并进行加热并保温;(4)保温结束后进行加压并保压;(5)保压结束后进行降温;(6)脱膜并进行加工,得所述硫氧锌靶材。本发明采用真空热压法,将氧化锌粉、硫化锌粉制备出硫氧锌靶材。本发明提供的硫氧锌靶材的制备方法工艺简单,对设备要求较低,成本较低
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