一种锌镁靶材及其制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113862619A(43)申请公布日2021.12.31(21)申请号202111050306.4(22)申请日2021.09.08(71)申请人先导薄膜材料（广东）有限公司地址511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区(72)发明人黄宇彬余飞童培云朱刘(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限公司44202代理人颜希文黄华莲(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)B23P15/00(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图1页(54)发明名称一种锌镁靶材及其制备方法(57)摘要本发明涉及靶材技术领域，公开了一种锌镁靶材及其制备方法，其中，其制备方法包括以下步骤：将单质锌与单质镁投入真空熔炼炉内熔炼，融化后充分搅拌并保温，得到混合熔炼液；将混合熔炼液进行浇注，形成锌镁合金压料；将锌镁合金压料加热，加热后通过一号模具进行挤压，得到第一挤压料；依次采用二号模具、三号模具、···、N号模具进行挤压，得到靶材毛胚；对靶材毛坯进行机加工，得到锌镁靶材。采用本发明的制备方法制作的锌镁靶材，其内部物缺陷，致密度较高，平均晶粒小于200微米，采用此锌镁靶材进行溅射，均匀并细小的晶粒不仅有助于获得膜厚均匀统一的薄膜功能层，且可避免溅射过程中发生放电及点火现象。CN113862619ACN113862619A权利要求书1/1页1.一种锌镁靶材的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)将单质锌与单质镁投入真空熔炼炉内熔炼，融化后充分搅拌并保温，得到混合熔炼液；(2)将混合熔炼液进行浇注，形成锌镁合金压料；(3)将锌镁合金压料加热，加热后通过一号模具进行挤压，得到第一挤压料；(4)依次采用二号模具、三号模具、···、N号模具进行挤压，得到靶材毛胚；(5)对靶材毛坯进行机加工，得到锌镁靶材。2.如权利要求1所述的锌镁靶材的制备方法，其特征在于：在所述步骤(1)中，熔炼温度为550±10℃，且升温速率为20℃每分钟，熔炼炉的真空度小于0.01Pa。3.如权利要求1所述的锌镁靶材的制备方法，其特征在于：在所述步骤(1)中，保温时间为15分钟。4.如权利要求1所述的锌镁靶材的制备方法，其特征在于：在所述步骤(3)或(4)中，采用压头进行挤压，所述模具均包括模具本体，所述模具本体内设有挤压腔，所述挤压腔内同轴设有挤压杆。5.如权利要求4所述的锌镁靶材的制备方法，其特征在于：在所述步骤(3)或(4)中，每次挤压时挤压料的形变量为3‑5毫米。6.如权利要求1所述的锌镁靶材的制备方法，其特征在于：在所述步骤(3)或(4)中，挤压过程中所述模具需保温在300℃，保温时间25～35分钟。7.如权利要求1所述的锌镁靶材的制备方法，其特征在于：在所述步骤(3)或(4)中，挤压前需先将挤压料加热到370～385℃。8.如权利要求1所述的锌镁靶材的制备方法，其特征在于：在进行机加工前需先将靶材毛坯进行退火处理，退火温度为340～350℃，退火时间为2.5‑3小时。9.如权利要求1所述的锌镁靶材的制备方法，其特征在于：在所述步骤(5)中，机加工以525～625RPM，进刀量0.08～0.12mm/道加工所述靶材毛坯的内径、外径以及长度，直至将靶材外部氧化皮完全去除并达到要求尺寸公差。10.一种锌镁靶材，其特征在于：其由如权利要求1‑9任一项所述的锌镁靶材的制备方法制得。2CN113862619A说明书1/5页一种锌镁靶材及其制备方法技术领域[0001]本发明涉及靶材技术领域，特别是涉及一种锌镁靶材及其制备方法。背景技术[0002]锌镁靶材应用于太阳能薄膜电池领域，在磁控溅射过程中通入氧气与锌镁靶材溅射出的金属离子形成氧化锌镁并沉积在光伏玻璃上。然而在实际应用中，由于氧化锌镁靶材熔炼高达2000摄氏度，只能通过用粉末冶金的方式制备出氧化锌镁靶材。而此类型的粉末冶金靶材普遍内部存在缺陷，致密度不高，只有92％，在溅射过程中容易发生异常放电现象，并造成对应沉积在面板上的薄膜厚度不均。发明内容[0003]为解决上述技术问题，本发明提供一种锌镁靶材及其制备方法，保证靶材内部无缺陷，提高锌镁靶材的致密度，避免溅射过程中发生放电现象。[0004]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：[0005]一种锌镁靶材的制备方法，包括以下步骤：[0006](1)将单质锌与单质镁投入真空熔炼炉内熔炼，融化后充分搅拌并保温，得到混合熔炼液；[0007](2)将混合熔炼液进行浇注，形成锌镁合金压料；[0008](3)将锌镁合金压料加热，加热后通过一号模具进行挤压，得到第一挤压料；[0009](4)依次采用二号模具、三号模具、···、N号模具进行挤压，得到靶材毛胚；[0010](5)对靶材毛坯进